特許
J-GLOBAL ID:201203009314323260
載置台の振動抑制装置及び載置台の振動抑制方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (3件):
中島 淳
, 加藤 和詳
, 福田 浩志
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-119198
公開番号(公開出願番号):特開2012-017846
出願日: 2011年05月27日
公開日(公表日): 2012年01月26日
要約:
【課題】載置された機器類の移動等に伴い発生する載置台の振動を抑制する。【解決手段】振動抑制装置10は固定部材14を有している。固定部材14は、機器類が載せられ振動吸収手段によって架台に支持された載置台12に固定されている。固定部材14には平板状の中央部14Cが設けられ、中央部14Cの両端部を折り曲げた鉛直部14Eで載置台12に固定されている。中央部14Cの両面には挟持手段54が設けられている。挟持手段54は上側板ばね20と下側板ばね22を有している。上側板ばね20は、上側板ばね取付台18の中央部18Cに固定され、下側板ばね22は、架台に設けられた取付台17に取付けられている。中央部18Cは、固定部材14と載置台12で囲まれた空間に挿入され、両端部を折り曲げた脚部で取付台17に取付けられている。下側板ばね22には、下側板ばね22を変形させるアクチュエータ24が貼り付けられている。【選択図】図2
請求項(抜粋):
機器類が載せられ振動吸収手段によって架台に支持された載置台に固定された固定部材と、
前記固定部材の両面と所定の隙間を開けて前記架台に設けられ、前記固定部材に向かって移動し、前記固定部材を両面から挟んで前記載置台を支持する挟持手段と、
前記載置台の振動を検知して信号を出力するセンシング手段と、
前記センシング手段からの前記信号に基づき、前記挟持手段を移動させる制御手段と、
を有する載置台の振動抑制装置。
IPC (5件):
F16F 15/02
, H01L 41/187
, H01L 41/08
, H01L 41/09
, H01L 21/027
FI (6件):
F16F15/02 A
, H01L41/18 101B
, H01L41/08 Z
, H01L41/08 C
, H01L41/08 U
, H01L21/30 503F
Fターム (11件):
3J048AA02
, 3J048AB07
, 3J048AD03
, 3J048AD11
, 3J048BC04
, 3J048BE02
, 3J048BE20
, 3J048CB07
, 3J048DA01
, 3J048EA13
, 5F146AA23
引用特許:
出願人引用 (4件)
-
特許第7637359号
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アクテイブ型防振装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-346711
出願人:株式会社ニコン
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特開平4-019438
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基板処理装置及びデバイスの製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-404381
出願人:株式会社ニコン
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審査官引用 (6件)
-
基板処理装置及びデバイスの製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-404381
出願人:株式会社ニコン
-
特許第7637359号
-
アクテイブ型防振装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-346711
出願人:株式会社ニコン
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特開平4-019438
-
載置台の支持装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2009-005984
出願人:株式会社竹中工務店
-
伸縮駆動用素子
公報種別:公開公報
出願番号:特願2004-356021
出願人:イーメックス株式会社
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