特許
J-GLOBAL ID：201203011144841223

ワイヤープローブ用治具並びにこれを用いた検査装置並びに検査方法

発明者：
伊東 博文

伊東 博文 について


出願人/特許権者：
株式会社トクソー理研

株式会社トクソー理研 について


代理人 (1件)： 伊藤 捷雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-226014
公開番号（公開出願番号）：特開2012-078297
出願日： 2010年10月05日
公開日（公表日）： 2012年04月19日
要約：
【課題】被検査基板の接触端子や電極基板の電極表面に打痕が生じるのを防止し、被検査基板の品質低下や電極基板の短寿命化を改善できるワイヤープローブ用治具を提供する。【解決手段】複数本のワイヤープローブ3と、これらのワイヤープローブを軸方向へ摺動可能に挿通保持させるために複数のプローブガイド孔が設けられた複数枚の薄板プレート111,112,113を積層して成るプレート積層体11と、前記プレート積層体11に設けられ前記各プローブガイド孔にワイヤープローブを挿通した状態で保持させる保持手段115Aと、前記プレート積層体の一方の面側に前記ワイヤープローブと電気的に導通した状態で設けられる電極基板2Aと、前記プレート積層体の一方の面側と前記電極基板及び又は前記プレート積層体の他方の面側と前記被検査基板との間に設けられる弾性を有する異方向導電性シート12と、を含むことを特徴とする。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
回路基板のような被検査基板の導通検査や動作特性検査等を行う際に用いられるワイヤープローブ用治具であって、 多数本のワイヤープローブと、 これらの多数本のワイヤープローブを軸方向へ摺動可能に挿通保持させるために多数のプローブガイド孔が設けられた複数枚の薄板プレートを積層して成るプレート積層体と、 前記プレート積層体に設けられ前記各プローブガイド孔にワイヤープローブを挿通した状態で保持させる保持手段と、 前記プレート積層体の一方の面側に前記ワイヤープローブと電気的に導通した状態で設けられる電極基板と、 前記プレート積層体の一方の面側と前記電極基板及び又は前記プレート積層体の他方の面側と前記被検査基板との間に設けられる弾性を有する異方向導電性シートと、 を含むことを特徴とする、ワイヤープローブ用治具。
IPC (3件)：
G01R 1/073 ,  G01R 31/26 ,  H01L 21/66
FI (3件)：
G01R1/073 D ,  G01R31/26 J ,  H01L21/66 B
Fターム (18件)：
2G003AG03 ,  2G003AG07 ,  2G003AG08 ,  2G003AH07 ,  2G011AA02 ,  2G011AA15 ,  2G011AB01 ,  2G011AB07 ,  2G011AB08 ,  2G011AC14 ,  2G011AC21 ,  2G011AE03 ,  2G011AF07 ,  4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106BA01 ,  4M106DD03 ,  4M106DD04
引用特許：
審査官引用 (3件)

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