特許
J-GLOBAL ID：201203013787333295
圧電素子のクラック検出方法及びその装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
須藤 雄一
, 須藤 大輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-274270
公開番号（公開出願番号）：特開2012-122866
出願日： 2010年12月09日
公開日（公表日）： 2012年06月28日
要約：
【課題】圧電素子のクラックを確実に検出する。【解決手段】一対の電極37,39間に配置され前記電極37,39を介した電圧の印加状態に応じて変形する圧電素子5のクラック検出方法であって、少なくとも前記圧電素子5に共振周波数の電圧を印加し、該電圧の印加による前記一対の電極37,39間の誘電正接を測定し、該測定された誘電正接に基づいて前記圧電素子5のクラックを検出することを特徴とする。これにより、圧電素子5の共振周波数での誘電正接がクラックの有無によって大きなピークを持つか否かで異なることから、その共振周波数での誘電正接に基づいて圧電素子5のクラックを容易且つ確実に検出することができる。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
一対の電極間に配置され前記電極を介した電圧の印加状態に応じて変形する圧電素子のクラック検出方法であって、
少なくとも前記圧電素子に共振周波数の電圧を印加し、
該電圧の印加による前記一対の電極間の誘電正接を測定し、
該測定された誘電正接に基づいて前記圧電素子のクラックを検出する、
ことを特徴とする圧電素子のクラック検出方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (3件)：
2G060AA09
, 2G060AE04
, 2G060AF11
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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