特許
J-GLOBAL ID：201203014257096035

ファブリペロー干渉計

発明者：
鈴木 愛美

鈴木 愛美 について

, 
山下 秀一

山下 秀一 について


出願人/特許権者：
株式会社デンソー

株式会社デンソー について


代理人 (3件)： 矢作 和行 ,  野々部 泰平 ,  久保 貴則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-280814
公開番号（公開出願番号）：特開2012-127862
出願日： 2010年12月16日
公開日（公表日）： 2012年07月05日
要約：
【課題】変化量Δdmが初期長さdmiの1/3よりも大きくなるようにメンブレンを変位できるファブリペロー干渉計を提供する。【解決手段】固定ミラーを有する固定ミラー構造体、第1ギャップを介した固定ミラー構造体との対向部分がメンブレンとされ、該メンブレンに第1電極及び固定ミラーに対向した可動ミラーを有する可動ミラー構造体、可動ミラー構造体に対して固定ミラー構造体と反対に配置され、第2ギャップを介したメンブレンとの対向部分に第2電極を有する電極構造体を備える。初期状態で電極間の長さdeiがミラー間の長さdmiよりも長くされている。そして、メンブレンと固定ミラー構造体のメンブレン対向部分が互いに対向する部分で同電位とされ、電極間に電圧を印加してメンブレンを電極構造体に近づく方向に変位させると、電極間の長さdeが初期長さdeiより短くなり、ミラー間の長さdmが初期長さdmiより長くなる。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
光を透過させる透過領域に固定ミラーを有する固定ミラー構造体と、 第1ギャップを介して固定ミラー構造体と対向する部分が変位可能なメンブレンとされ、該メンブレンに、第1電極と前記固定ミラーに対向して設けられた可動ミラーとを有する可動ミラー構造体と、 前記可動ミラー構造体に対して前記固定ミラー構造体と反対側に配置され、第2ギャップを介して前記メンブレンと対向する部分に第2電極を有する電極構造体と、を備え、 前記第1電極と前記第2電極との間に電圧が印加されない初期状態で、前記第2ギャップにおける電極間の長さdeiが、前記第1ギャップにおけるミラー間の長さdmiよりも長くされており、 前記可動ミラー構造体のメンブレンと、前記固定ミラーを含む固定ミラー構造体のメンブレン対向部分とは、互いに対向する部分が同電位とされ、 前記第1電極と前記第2電極との間に電圧を印加し、前記メンブレンを前記電極構造体に近づく方向に変位させることで、前記第2ギャップにおける電極間の長さdeが初期状態の長さdeiより短くなるとともに、前記第1ギャップにおけるミラー間の長さdmが初期状態の長さdmiより長くなることを特徴とするファブリペロー干渉計。
IPC (2件)：
G01J 3/26 ,  G01N 21/35
FI (2件)：
G01J3/26 ,  G01N21/35 Z
Fターム (19件)：
2G020AA03 ,  2G020BA03 ,  2G020BA12 ,  2G020CA12 ,  2G020CB42 ,  2G020CC23 ,  2G020CC55 ,  2G020CD03 ,  2G020CD13 ,  2G020CD22 ,  2G059AA01 ,  2G059BB01 ,  2G059EE01 ,  2G059EE12 ,  2G059HH01 ,  2G059JJ03 ,  2G059KK01 ,  2G059MM18 ,  2G059NN06
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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