グリーンシートの溝加工装置および多数個取り配線基板の製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木学
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-229495
公開番号（公開出願番号）：特開2012-081647
出願日： 2010年10月12日
公開日（公表日）： 2012年04月26日
要約：

【課題】グリーンシート積層体に分割溝をレーザで形成する際に発生するセラミック成分または金属成分からなる塵埃を極力外部へ排出できる溝加工装置、および該加工装置を用いた高歩留まりの多数個取り配線基板の製造方法を提供する。【解決手段】主面3に導体層5が形成されたグリーンシート積層体2を載置する載置部13を有し、且つ平面視で該積層体2を縦横方向に沿って移動させるテーブル10と、該テーブル10の主面11の上方において、軸方向が該テーブル10の主面11に対して直交する垂直方向に沿って配置されたレーザ照射ヘッド20と、該ヘッド20の先端20a側の周囲に配置され、平面視の軸方向がテーブル20の移動方向と逆向きで、且つ側面視の軸方向とレーザ照射ヘッド20の軸方向との間が鋭角θ1であるガス吹き付けノズル26,28と、レーザ照射ヘッド20の周囲において、該ヘッド20を囲むように配置されたガス吸引口22と、を含む、グリーンシートの溝加工装置1。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

主面に導体層が形成されたグリーンシートを載置する載置部を有し、且つ平面視で該グリーンシートを縦横方向に沿って移動させるテーブルと、上記テーブルの主面の上方において、軸方向が該テーブルの主面に対して直交する垂直方向に沿って配置されたレーザ照射ヘッドと、上記レーザ照射ヘッドの先端側の周囲に配置され、平面視の軸方向が上記テーブルの移動方向と逆向きで、且つ側面視の軸方向と上記レーザ照射ヘッドの軸方向との間が鋭角であるガス吹き付けノズルと、上記レーザ照射ヘッドの周囲において、該ヘッドを囲むように配置されたガス吸引口と、を含む、ことを特徴とするグリーンシートの溝加工装置。

IPC (8件)：

B28B 11/14 , H05K 1/02 , H05K 3/00 , B23K 26/00 , B23K 26/14 , B23K 26/10 , B23K 26/36 , B23K 26/40

FI (9件)：

B28B11/14 , H05K1/02 G , H05K3/00 X , H05K3/00 N , B23K26/00 D , B23K26/14 A , B23K26/10 , B23K26/36 , B23K26/40

Fターム (27件)：

4E068AD00 , 4E068CA17 , 4E068CD15 , 4E068CE04 , 4E068CE09 , 4E068CG01 , 4E068CH02 , 4E068CH07 , 4E068CJ01 , 4E068DA09 , 4E068DB12 , 4G055AA08 , 4G055AA10 , 4G055AC01 , 4G055AC09 , 4G055BA74 , 4G055BA85 , 4G055BB03 , 4G055BB05 , 4G055BB08 , 4G055BB14 , 5E338AA01 , 5E338AA02 , 5E338AA03 , 5E338AA18 , 5E338BB48 , 5E338EE33

引用特許：

出願人引用 (6件)

電子回路基板の製造方法,電子回路基板の製造装置及び電子回路基板
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-223465 出願人：株式会社日立製作所
レーザを用いたセラミック基板分割方法およびセラミック基板分割用レーザスクライバ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-224823 出願人：株式会社ノリタケカンパニーリミテド
ブレークラインの形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-174427 出願人：株式会社住友金属エレクトロデバイス

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