薄膜アクチュエータの製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-004904
公開番号（公開出願番号）：特開2012-145055
出願日： 2011年01月13日
公開日（公表日）： 2012年08月02日
要約：

【課題】本発明は、形状変化が大きく、変形量の大きさや方向の制御が容易であるとともに、使用による性能の劣化を抑制した薄膜アクチュエータの製造方法を提供することを課題とする。【解決手段】樹脂薄膜21と形状記憶合金薄膜22とを積層してなる積層薄膜23を拘束加熱する薄膜アクチュエータの製造方法を用いることによって前記課題を解決できる。【選択図】図2

請求項（抜粋）：