特許
J-GLOBAL ID：201203022341371516
音響センサ及びマイクロフォン
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中野 雅房
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-074454
公開番号（公開出願番号）：特開2011-259410
出願日： 2011年03月30日
公開日（公表日）： 2011年12月22日
要約：
【課題】バックプレートにあけるアコースティックホールの開口径を大きくしても固定電極膜に破損が起きにくく、寄生抵抗が増大しにくい音響センサを提供する。【解決手段】ダイアフラム33に対向してダイアフラム33を覆うバックプレート34は、固定電極膜40とプレート部39から構成される。固定電極膜40からは引出し配線44が延出し、引出し配線44は固定側電極パッド45につながっている。固定電極膜40の大部分の領域には、比較的開口面積の大きなアコースティックホール38aが開口されている。固定電極膜40のうち、引出し配線44及びその近傍領域には、比較的開口面積の小さなアコースティックホール38bが開口されている。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
バックチャンバを有する半導体基板と、
前記半導体基板の上方に配設された導電性のダイアフラムと、
間隙を隔てて前記ダイアフラムを覆うようにして前記半導体基板の上面に固定された絶縁性の固定膜と、
前記ダイアフラムと対向する位置において前記固定膜に設けた導電性の固定電極膜と、
前記固定電極膜から引き出された引出し配線と、
前記引出し配線を接続された電極パッドとを備え、
音響振動を前記ダイアフラムと前記固定電極膜との間の静電容量の変化に変換する音響センサであって、
前記固定膜と前記固定電極膜からなるバックプレートには複数の音響孔が開口し、
前記引出し配線及びその近傍領域は、それぞれその他の領域よりも音響孔の開口率が小さいことを特徴とする音響センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (4件)：
5D017BC15
, 5D017BC20
, 5D021CC15
, 5D021CC18
