特許
J-GLOBAL ID：201203025524374050
スピンナ洗浄装置及びスピンナ洗浄方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-231543
公開番号（公開出願番号）：特開2012-084792
出願日： 2010年10月14日
公開日（公表日）： 2012年04月26日
要約：
【課題】回転中の事故を防ぐスピンナ洗浄装置及びスピンナ洗浄方法を提供すること。【解決手段】スピンナテーブル10Aのウェーハ吸着面12外側に設けられた吸着確認部16で、フレームFとウェーハWとの間のテープTを吸着し、検出部18で吸着確認部16の圧力の変化を検出する。テープTが正しく吸着確認部16に吸着され、吸着確認部16の圧力が下がりフレームFの位置に異常がないと判断された場合はスピンナ洗浄が開始される。吸着確認部16でテープTが吸着されず圧力が下がらない場合は、フレームFの位置が異常であるとしてスピンナテーブルの回転が行われない。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
中央部にウェーハ吸着面が設けられ、前記ウェーハ吸着面の外側に吸着確認部が設けられ、テープによりフレームにマウントされたウェーハを前記ウェーハ吸着面で吸着固定するスピンナテーブルと、
前記吸着確認部に生じる圧力を検出する検出部と、
揺動しながら前記スピンナテーブル上のウェーハへ向けて洗浄水を噴射するノズルと、
前記スピンナテーブルの外周部に設けられた前記フレームを固定する複数のフックと、
前記スピンナテーブルを回転させる回転手段と、
を備えたことを特徴とするスピンナ洗浄装置。
IPC (2件)：
H01L 21/304
, H01L 21/027
H01L21/304 643A
, H01L21/304 648G
, H01L21/30 572B
5F046MA18
, 5F146MA18
, 5F157AB02
, 5F157AB16
, 5F157AB33
, 5F157AB90
, 5F157AC01
, 5F157AC13
, 5F157BB22
, 5F157BB45
, 5F157CD11
, 5F157CD21
, 5F157CD29
, 5F157CF42
, 5F157DA81
, 5F157DB02
