特許
J-GLOBAL ID：200903038847223203
ウェーハ用テーブル、表面保護フィルム剥離装置および表面保護フィルム剥離方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
青木 篤
, 鶴田 準一
, 島田 哲郎
, 廣瀬 繁樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-014526
公開番号（公開出願番号）：特開2009-065108
出願日： 2008年01月25日
公開日（公表日）： 2009年03月26日
要約：
【課題】ダイシングフィルムを溝内に確実に陥没させると共に、ダイシングフィルムを元位置まで回復させる。【解決手段】ダイシングフィルム(3)を介してマウントフレーム(36)に裏面が支持されると共に表面に表面保護フィルム(11)が貼付けられているウェーハ(20)を吸着するウェーハ用テーブル(31)において、ウェーハの外周の少なくとも一部に対応する前記テーブルの領域に溝(60)が形成されている。さらに、テーブルは、ウェーハを前記テーブルの表面に吸着させる吸着手段(33)と、前記溝内の空気を吸引する吸引手段とを含む。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
ダイシングフィルムを介してマウントフレームに裏面が支持されると共に表面に表面保護フィルムが貼付けられているウェーハを吸着するウェーハ用テーブルにおいて、
前記ウェーハを前記テーブルの表面に吸着させる吸着手段と、
前記ウェーハの外周の少なくとも一部に対応する前記テーブルの領域に形成された溝と、
前記溝内の空気を吸引する吸引手段とを具備する、ウェーハ用テーブル。
IPC (1件)：
FI (2件)：
H01L21/68 P
, H01L21/68 N
5F031CA02
, 5F031DA13
, 5F031DA15
, 5F031HA14
, 5F031HA78
, 5F031KA15
, 5F031KA20
, 5F031MA38
出願人引用 (1件)
-
吸着装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2004-128214
出願人：リンテック株式会社
審査官引用 (3件)
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