特許
J-GLOBAL ID：200903050530970283

振動ジャイロ素子、振動ジャイロ素子の支持構造およびジャイロセンサ

発明者：
小倉 誠一郎

小倉 誠一郎 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  藤綱 英吉 ,  須澤 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-012418
公開番号（公開出願番号）：特開2006-201011
出願日： 2005年01月20日
公開日（公表日）： 2006年08月03日
要約：
【課題】 振動ジャイロ素子の角速度検出感度を維持し、かつ支持強度を確保し小型化を可能にする振動ジャイロ素子、振動ジャイロ素子の支持構造およびジャイロセンサを提供する。【解決手段】 基部10と、基部10から直線状に両側へ延出された1対の検出用振動腕11a,11bと、基部10から両側へ検出用振動腕11a,11bに直交する方向に延出された1対の連結腕13a,13bと、各連結腕の先端部からそれと直交して両側へ延出された各1対の駆動用振動腕14a,14b,15a,15bと、基部10から各検出用腕に沿って延出される2対の梁20a,20b,21a,21bと、同方向に延出された各梁が連結された1対の支持部22a,22bと、を同一平面に備え、支持部22a,22bを検出用振動腕の延出する方向であって検出用振動腕の外側かつ前記駆動用振動腕の間に配置する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基部と、 前記基部から直線状に両側へ延出された1対の検出用振動腕と、 前記基部から両側へ前記検出用振動腕に直交する方向に延出された1対の連結腕と、 前記各連結腕の先端部からそれと直交して両側へ延出された各1対の駆動用振動腕と、 前記基部から前記各検出用腕に沿って延出される2対の梁と、 同方向に延出された前記各梁が連結された1対の支持部と、を同一平面に備え、 前記支持部を前記各検出用振動腕の延出する方向であって前記検出用振動腕の外側かつ前記駆動用振動腕の間に配置されたことを特徴とする振動ジャイロ素子。
IPC (2件)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04
FI (2件)：
G01C19/56 ,  G01P9/04
Fターム (7件)：
2F105AA08 ,  2F105AA10 ,  2F105BB13 ,  2F105CC04 ,  2F105CD02 ,  2F105CD06 ,  2F105CD13
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (9件)
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