特許
J-GLOBAL ID：201003056962188283

慣性センサ及び慣性検出装置

発明者：
川久保 隆

川久保 隆 について

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長野 利彦

長野 利彦 について

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西垣 亨彦

西垣 亨彦 について


出願人/特許権者：
株式会社東芝

株式会社東芝 について


代理人 (1件)： 日向寺 雅彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-171826
公開番号（公開出願番号）：特開2010-014406
出願日： 2008年06月30日
公開日（公表日）： 2010年01月21日
要約：
【課題】温度補償なしに高精度な検出が可能であり、しかも製造プロセスが容易な、超小型の慣性センサ及び慣性検出装置を提供する。【解決手段】基板の主面に対して平行な平面内の第1の方向に延在し、前記基板の前記主面と間隔を空けて保持され、第1の電極と、第2の電極と、前記第1の電極と前記第2の電極との間に設けられた第1の圧電膜と、を有する検出部を有し、一端が前記基板の前記主面に接続された梁と、前記梁の他端に接続され、前記基板の前記主面と間隔を空けて保持された重錘部と、前記重錘部の前記基板とは反対の側に、前記重錘部と間隔を空けて設けられた上面ストッパ部と、を備えたことを特徴とする慣性センサを提供する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板の主面に対して平行な平面内の第1の方向に延在し、前記基板の前記主面と間隔を空けて保持され、第1の電極と、第2の電極と、前記第1の電極と前記第2の電極との間に設けられた第1の圧電膜と、を有する検出部を有し、一端が前記基板の前記主面に接続された梁と、 前記梁の他端に接続され、前記基板の前記主面と間隔を空けて保持された重錘部と、 前記重錘部の前記基板とは反対の側に、前記重錘部と間隔を空けて設けられた上面ストッパ部と、 を備えたことを特徴とする慣性センサ。
IPC (6件)：
G01P 15/09 ,  G01P 15/18 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/22 ,  H01L 41/24 ,  H01L 41/18
FI (6件)：
G01P15/09 D ,  G01P15/00 K ,  H01L41/08 Z ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/22 A ,  H01L41/18 101Z
Fターム (6件)：
2F105AA02 ,  2F105BB01 ,  2F105BB09 ,  2F105BB15 ,  2F105CD02 ,  2F105CD13
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (14件)
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