特許
J-GLOBAL ID：201203028261880019
基板支持装置を具備する作業装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
相澤 清隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-148381
公開番号（公開出願番号）：特開2012-015219
出願日： 2010年06月29日
公開日（公表日）： 2012年01月19日
要約：
【課題】基板支持テーブルからの支持ピンの取り外し、又は前記基板支持テーブルへの支持ピンの取り付けに要する作業時間の短縮を図ること。【解決手段】基板支持テーブル24上面には、固定シュート19A寄りの上流位置及び下流位置にそれぞれストック部43が着脱可能に設けられ、移載吸着ノズル20により支持ピン40を基板支持テーブル24からストック部43に回収したり、ストック部43から基板支持テーブル24に配設することができる。磁性体である鋼鉄製のストック部43は、その上面には支持ピン40が挿入される支持孔44が複数形成されており、段差部24A、24B上に載置して取り付けられる。この場合、各段差部24A、24Bに立設された複数の位置決めピン46が各ストック部43に開設された位置決め孔47内に挿入することにより位置決めされて取付けられる。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
基板を支持する複数の支持ピンを備えた基板支持テーブルを具備する作業装置において、前記基板支持テーブルから前記支持ピンを回収するためのストック部を、前記基板支持テーブルに着脱可能に設けたことを特徴とする基板支持テーブルを具備する作業装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (5件)：
5E313AA11
, 5E313CC01
, 5E313CC09
, 5E313FF32
, 5E313FG10
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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