特許

J-GLOBAL ID：201203030214378849

アライメント用レーザ

発明者： フォーメンコフ イゴー ヴィー ,  アーショフ アレクサンダー アイ ,  パートロ ウィリアム エヌ ,  パクストン ジェーソン エー ,  キム ナム ヒョン ,  ホフマン ジャージー アール
出願人/特許権者： サイマー インコーポレイテッド
代理人 (7件)： 辻居 幸一 ,  熊倉 禎男 ,  大塚 文昭 ,  西島 孝喜 ,  須田 洋之 ,  上杉 浩 ,  鈴木 信彦
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-504828
公開番号（公開出願番号）：特表2012-523705
出願日： 2010年04月07日
公開日（公表日）： 2012年10月04日
要約：

極端紫外光を生成する方法は、標的材料を標的位置に生成し、増幅帯域を有する少なくとも1つの光増幅器の利得媒質にポンピングエネルギーを供給して増幅光ビームを生成し、光学部品の組のうちの1つ又はそれ以上の光学部品を用いて増幅光ビームを利得媒質を通して伝搬させ、光学部品の組のうちの1つ又はそれ以上の光学部品を用いて増幅光ビームを標的位置に送出し、ガイドレーザを用いて利得媒質の増幅帯域外且つ光学部品の波長範囲内の波長を有するガイドレーザ・ビームを生成し、ガイドレーザ・ビームを光学部品の組を通して方向付け、それにより光学部品の組のうちの1つ又はそれ以上の光学部品を光軸調整するステップを含む。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

気体レーザシステムの、動作波長で動作する少なくとも1つの光増幅器の利得媒質にポンピングエネルギーを供給して該利得媒質内に反転分布を生じさせ、増幅光ビームを生成するステップと、 ガイド波長を有するガイドレーザからのガイドレーザ・ビームを、各々が波長範囲を伴う光学部品に向けて方向付けるステップと、 前記方向付けられたガイドレーザ・ビームを用いて前記光学部品を光軸調整するステップと、 を含み、 前記ガイド波長は、前記動作波長とは異なり且つ前記光学部品の前記波長範囲内にあることを特徴とする方法。

IPC (2件)：

H01S 3/23 ,  H01S 3/00

FI (2件)：

H01S3/23 ,  H01S3/00 A

Fターム (7件)：

5F172AD05 ,  5F172DD03 ,  5F172EE22 ,  5F172NN29 ,  5F172NP06 ,  5F172NR06 ,  5F172ZZ02

引用特許：

審査官引用 (10件)

• 特許第7491954号
  
• 特許第6881925号
  
• 極端紫外光源装置の初期アライメント方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-297188   出願人：株式会社小松製作所, ギガフォトン株式会社
• 狭帶域発振レーザ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-277820   出願人：株式会社小松製作所
• 特許第7491954号
  
• 特許第6881925号
  
• 多波長レーザ装置及び波長連続可変レーザ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-253069   出願人：テルモ株式会社
• 特許第7491954号
  
• 特許第6881925号
  
• 固体レーザ共振器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-180349   出願人：テルモ株式会社