特許
J-GLOBAL ID：201203032650281250
熱型赤外線検出器
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
長谷川 芳樹
, 黒木 義樹
, 石田 悟
, 寺澤 正太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-056010
公開番号（公開出願番号）：特開2012-123018
出願日： 2012年03月13日
公開日（公表日）： 2012年06月28日
要約：
【課題】基板のウェットエッチング加工が容易であり、広い波長域にわたって効率良く赤外線を吸収できる熱型赤外線検出器を提供する。【解決手段】赤外線吸収膜2は、TiNを含む第1の層21と、Si系化合物を含む第2の層22とを備え、第2の層22側から入射する赤外線のエネルギを熱に変換する。TiNは、8μmより短い波長域の赤外線に対する吸収率が高い一方、8μmより長い波長域の赤外線に対しては反射率が高い。従って、長波長域の赤外線に対する吸収率が良いSi系化合物層をTiN層上に積層すれば、TiN層において吸収率が低い波長域の赤外線をSi系化合物層において好適に吸収できると同時に、Si系化合物層を透過しようとする赤外線をTiN層の界面で反射してSi系化合物層へ戻すことができる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
赤外線吸収体と、
前記赤外線吸収体からの熱を電気的な量に変換する熱電変換部と
を備え、
前記赤外線吸収体が、
TiNを含む第1の層と、
SiCを含み前記第1の層上に設けられた第2の層と
を有し、
前記赤外線吸収体が、前記熱電変換部上に積層され、前記熱電変換部と共にメンブレン構造を構成しており、
前記第2の層側から入射する赤外線のエネルギを熱に変換することを特徴とする、熱型赤外線検出器。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (4件)：
2G065AA04
, 2G065AB02
, 2G065BA11
, 2G065CA30
