特許
J-GLOBAL ID:201203037676451635

撮像光学検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 中塚 雅也
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-182812
公開番号(公開出願番号):特開2012-042297
出願日: 2010年08月18日
公開日(公表日): 2012年03月01日
要約:
【課題】 装置の専有面積を小さくすることができ、高精度の検出結果を短時間で行なうことができる撮像光学検査装置を提供する。 【解決手段】 単一のリニア撮像素子3aと、被検査物100上のリニア撮像素子3aによる撮像領域102を変更する搬送装置2と、リニア撮像素子3aに入射する光の特性が異なる複数の照明装置4,5,6,7と、被検査物100の所定の領域がリニア撮像素子3aの撮像領域内にある時間内に複数回のデータ転送が可能となるように、搬送速度又は転送速度を制御する撮像制御部10と、照明装置の点灯のタイミングをリニア撮像素子3aのデータ転送回ごとに変更する照明制御部9と、リニア撮像素子3aからの画像データを同じ照明装置が点灯した画像データごとに集積する画像処理部11と、集積画像データから合成画像データを作成する画像合成部12と、を備える。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
被検査物を撮像する単一のリニア撮像素子と、 被検査物とリニア撮像素子との位置を相対的に移動させ、被検査物上のリニア撮像素子の撮像領域を変更する搬送装置と、 前記被検査物に到達して前記リニア撮像素子に入射する光の光学特性が異なるように構成された複数の照明装置と、 前記搬送装置により搬送される被検査物の所定の領域が前記リニア撮像素子の撮像領域内にある時間内に、前記リニア撮像素子から複数回のデータ転送が可能となるように、前記搬送装置の搬送速度又は前記リニア撮像素子の転送速度を制御する撮像制御部と、 前記複数の照明装置の点灯のタイミングを前記撮像制御部により制御された前記リニア撮像素子の転送回ごとに変更するように制御する照明制御部と、 前記リニア撮像素子から転送された画像データを前記同じ照明装置が点灯した画像データごとに集積して集積画像データを作成する画像処理部と、 前記画像処理部により作成された集積画像データを合成し、合成画像データを作成する画像合成部と、を備えることを特徴とする、撮像光学検査装置。
IPC (1件):
G01N 21/88
FI (1件):
G01N21/88 J
Fターム (13件):
2G051AA01 ,  2G051AB02 ,  2G051BA01 ,  2G051BB05 ,  2G051BC01 ,  2G051CA03 ,  2G051CB01 ,  2G051CB02 ,  2G051CB03 ,  2G051CB05 ,  2G051CD07 ,  2G051DA06 ,  2G051EA08
引用特許:
審査官引用 (7件)
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