特許
J-GLOBAL ID：201203040558096341

配線形成方法、及び配線

発明者：
田邊 裕史

田邊 裕史 について

, 
大竹 富明

大竹 富明 について


出願人/特許権者：
株式会社クラレ

株式会社クラレ について


代理人 (1件)： 宇高 克己
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-220201
公開番号（公開出願番号）：特開2012-074646
出願日： 2010年09月30日
公開日（公表日）： 2012年04月12日
要約：
【課題】カーボンナノチューブを用いて、高精細な配線を、簡単に、かつ生産性良く形成できる半導体装置の製造方法を提供する。【解決手段】エアロゾルジェット手段により、カーボンナノチューブ含有分散液を、基板3上にエアロゾル状態にて吹き付け、電極1に接続するカーボンナノチューブからなる配線2を形成する。配線はカーボンナノチューブがネットワーク状に絡み合った構造になっているので導電性が高い。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
配線形成方法であって、 エアロゾルジェット手段により、カーボンナノチューブ含有分散液が、基板上に、配線のパターンで吹き付けられるエアロゾルジェット工程を具備し、 前記エアロゾルジェット工程により配線が形成されることを特徴とする配線形成方法。
IPC (5件)：
H01L 21/320 ,  H01L 23/52 ,  H01L 21/28 ,  H01L 21/288 ,  B82B 1/00
FI (5件)：
H01L21/88 B ,  H01L21/88 M ,  H01L21/28 301Z ,  H01L21/288 Z ,  B82B1/00
Fターム (18件)：
4M104BB02 ,  4M104BB04 ,  4M104BB09 ,  4M104BB13 ,  4M104BB14 ,  4M104BB36 ,  4M104DD21 ,  4M104DD51 ,  5F033HH00 ,  5F033HH07 ,  5F033HH08 ,  5F033HH11 ,  5F033HH13 ,  5F033HH15 ,  5F033HH18 ,  5F033HH35 ,  5F033PP26 ,  5F033QQ00
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (2件)

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