表面形状の測定方法および装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：中島淳 , 加藤和詳 , 西元勝一
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-508974
公開番号（公開出願番号）：特表2012-526268
出願日： 2010年04月14日
公開日（公表日）： 2012年10月25日
要約：

本発明は、測定物の表面形状を測定するための測定装置(10)と対応する測定方法に関する。測定時に、測定用のスライド(15)が移動方向(x)に直線的、かつ測定物表面からある距離を保って移動し、スライドに配置されたプローブチップ(25)が測定用スライド(15)の動きで加速されないようにする。プローブチップ(25)の自由端(40)がある測定力(Fm)で測定物表面(11)上に載り、測定時に移動方(x)と交叉する測定方向(z)に変位して、表面形状に応じたプローブ端(40)の経路依存の変位(zT)が生じる。測定用センサ(45)が、プローブ端(40)の測定方向(z)への変位を示す変位変数(s)を検出する。解析ユニット(21)において、変位変数(s)に依存する測定力変更変数が生成され、この測定力変更変数はプローブ端(40)と測定物表面(11)との間の測定力(Fm)の変更を記述する。測定力変更変数に基づいて、測定エラーや測定の不確かさを検出することが可能である。

請求項（抜粋）：

測定物の表面形状を測定するための測定装置(10)であって、測定時にキャリジ駆動部(16)により測定物表面から距離をおいて移動方向(x)へ直線的に移動させられる測定用キャリジ(15)と、前記測定用キャリジ(15)上に設けられたプローブチップ(25)であって、前記プローブチップのプローブ自由端(40)が測定力(Fm)で測定対象の測定物表面(11)上に載っており、移動方向(x)に交叉する測定方向(z)に変位可能となっているプローブチップ(25)と、前記プローブ自由端(40)の測定方向(z)への変位(zt)を示す変位量(s)を検出するための測定値受信器(45)と、前記プローブ自由端(40)と前記測定物表面(11)との間の測定力(Fm)の変化を示す測定力変化量(Fdyn)を前記変位量(s)の関数として決定するための解析ユニット(21)と、を備える測定装置。

IPC (1件)：

G01B 5/20

FI (1件)：

G01B5/20 C

Fターム (7件)：

2F062AA01 , 2F062AA51 , 2F062EE01 , 2F062EE62 , 2F062FF02 , 2F062JJ02 , 2F062JJ04

引用特許：

審査官引用 (4件)

座標測定装置における形状エレメントの測定法および座標測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-087207 出願人：カール-ツアイス-スチフツング
形状測定装置及び形状測定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-183082 出願人：松下電器産業株式会社
特開平2-198748

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