特許
J-GLOBAL ID：201203044700030600
画像プローブの校正方法とタッチプローブ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
高矢 諭
, 松山 圭佑
, 牧野 剛博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-003441
公開番号（公開出願番号）：特開2012-145422
出願日： 2011年01月11日
公開日（公表日）： 2012年08月02日
要約：
【課題】簡易的な構成で画像プローブの校正を高精度に行いながら画像プローブによる被測定物の対象拡大と画像プローブの使い勝手の向上が可能となる。【解決手段】撮像方向(光軸Dの方向)を垂直方向に保持し画像プローブデータを取得する工程(ステップS2)と、撮像方向を所望角度に傾斜させ傾斜角度データを取得する工程(ステップS8)と、プローブ交換工程(ステップS10)と、撮像方向を垂直方向に保持した際の初期角度でタッチプローブ118を保持しタッチプローブデータを取得する工程(ステップS12)及び位置関係データを取得する工程(ステップS16)と、傾斜角度データでタッチプローブ118を傾斜させ傾斜タッチプローブデータを取得する工程(ステップS20)と、画像プローブデータ等に基づいて、所望角度への傾斜後の画像プローブ116の焦点位置及び光軸D周りの回転角を校正する工程(ステップS22)と、を含む。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
被測定物を撮像する画像プローブと、該被測定物が載置されるテーブルと、前記画像プローブに接続されて該画像プローブの撮像方向を前記テーブルに対する垂直方向から所望角度に傾斜させる傾斜機構と、を有する三次元測定機において、前記撮像方向を前記所望角度に傾斜させて用いるために、前記画像プローブを校正するために前記テーブルに配置されるとともに中心軸を有し平面視直線部と該中心軸を中心とした平面視円弧部とを備える校正ゲージと、前記傾斜機構に接続され傾斜可能とされるとともにスタイラス先端となるチップを少なくとも2つ備えるタッチプローブと、該タッチプローブを校正するために前記テーブルに配置された基準球と、を使用する画像プローブの校正方法であって、
前記撮像方向を前記垂直方向に保持し、前記校正ゲージを前記画像プローブで撮像し、この撮像結果である画像プローブデータを取得する画像プローブデータ取得工程と、
前記撮像方向を前記所望角度に傾斜させ、その際の前記傾斜機構の傾斜角度データを取得する傾斜角度データ取得工程と、
前記傾斜機構に接続された前記画像プローブを前記タッチプローブに交換するプローブ交換工程と、
前記撮像方向を前記垂直方向に保持した際の前記傾斜機構による初期角度で前記タッチプローブを保持し、該タッチプローブの前記チップそれぞれで前記基準球を測定し、この測定結果であるタッチプローブデータを取得するタッチプローブデータ取得工程と、
前記初期角度で前記タッチプローブを保持し、前記チップの1つで前記校正ゲージを測定し、この測定結果である位置関係データを取得する位置関係データ取得工程と、
前記傾斜角度データで前記タッチプローブを傾斜させ、前記チップそれぞれで前記基準球を測定し、この測定結果である傾斜タッチプローブデータを取得する傾斜タッチプローブデータ取得工程と、
前記画像プローブデータと前記タッチプローブデータと前記位置関係データと前記傾斜タッチプローブデータとに基づいて、前記撮像方向の前記所望角度への傾斜後の該画像プローブの焦点位置及び光軸周りの回転角を校正するプローブ校正工程と、
を含むことを特徴とする画像プローブの校正方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B21/00 P
, G01B11/00 H
2F065AA04
, 2F065AA31
, 2F065EE00
, 2F065FF04
, 2F065FF10
, 2F065FF41
, 2F065FF61
, 2F065FF67
, 2F065GG07
, 2F065GG17
, 2F065HH14
, 2F065QQ13
, 2F065QQ23
, 2F065QQ25
, 2F065QQ27
, 2F065QQ28
, 2F065RR05
, 2F069AA04
, 2F069AA66
, 2F069AA71
, 2F069FF07
, 2F069GG01
, 2F069GG07
, 2F069GG62
, 2F069GG63
, 2F069GG64
, 2F069GG71
, 2F069HH01
, 2F069MM02
