特許
J-GLOBAL ID：201203044866864940

感光性ポリイミド前駆体及び感光性樹脂組成物

発明者：
田中 明

田中 明 について


出願人/特許権者：
日本ゼオン株式会社

日本ゼオン株式会社 について


代理人 (1件)： 大石 治仁
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-294036
公開番号（公開出願番号）：特開2012-141447
出願日： 2010年12月28日
公開日（公表日）： 2012年07月26日
要約：
【課題】熱膨張率と残留応力が小さく、銅基板等との密着性に優れ、生成した樹脂の破断強度が大きい感光性ポリイミド前駆体及び感光性樹脂組成物の提供。【解決手段】テトラカルボン酸と芳香族ジアミンとを重縮合させて得られる繰り返し単位(1)を有し、両末端に化学線官能基が導入された感光性ポリイミド前駆体であって、剛直構造の芳香族テトラカルボン酸を、テトラカルボン酸の全モル数に対し70〜100モル%含有するもので、芳香族ジアミンが、チオフェン含有芳香族ジアミンと、剛直構造芳香族ジアミンとを、モル比で、3:97〜30:70で含有するもので、かつ化学線官能基が、炭素-炭素二重結合を有するフェニルアミノ基又は、炭素-炭素二重結合をエステルとして有するジカルボキシフェニルカルボニル基からなる感光性ポリイミド前駆体及び該前駆体を含む感光性樹脂組成物。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
主鎖中に、式(a)
IPC (5件)：
G03F 7/027 ,  G03F 7/004 ,  C08G 73/10 ,  H01L 23/14 ,  H01L 21/027
FI (6件)：
G03F7/027 514 ,  G03F7/027 502 ,  G03F7/004 501 ,  C08G73/10 ,  H01L23/14 R ,  H01L21/30 502R
Fターム (33件)：
2H125AC31 ,  2H125AC64 ,  2H125AC66 ,  2H125AC67 ,  2H125AD12 ,  2H125AD26 ,  2H125AN03P ,  2H125AN82P ,  2H125BA11P ,  2H125CA12 ,  2H125CB05 ,  2H125CC01 ,  2H125CC13 ,  4J043PA02 ,  4J043PA19 ,  4J043PB02 ,  4J043QB31 ,  4J043RA05 ,  4J043RA06 ,  4J043RA34 ,  4J043SA06 ,  4J043SB01 ,  4J043TA14 ,  4J043TA22 ,  4J043UA031 ,  4J043UA041 ,  4J043UA042 ,  4J043UA131 ,  4J043UA132 ,  4J043UA711 ,  4J043UB151 ,  4J043VA041 ,  4J043ZB22
引用特許：
審査官引用 (3件)

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