特許
J-GLOBAL ID：201203047381473373
シリカガラスルツボ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
SK特許業務法人
, 奥野 彰彦
, 伊藤 寛之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-267590
公開番号（公開出願番号）：特開2012-116702
出願日： 2010年11月30日
公開日（公表日）： 2012年06月21日
要約：
【課題】シリコン融液への不純物の混入のおそれなく、シリカガラスルツボの座屈や沈み込みを抑制することができるシリカガラスルツボを提供する。【解決手段】シリコン単結晶の引き上げに用いるシリカガラスルツボであって、前記ルツボの壁3の外表面から内表面に向かって厚さ2mmの領域3cのシリカガラスのラマンスペクトルでの492cm-1におけるピークの面積強度I1と、606cm-1におけるピークの面積強度I2の比I2/I1が0.67〜1.17であるシリカガラスルツボ。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
シリコン単結晶の引き上げに用いるシリカガラスルツボであって、前記ルツボの壁の外表面から内表面に向かって厚さ2mmの領域のシリカガラスのラマンスペクトルでの492cm-1におけるピークの面積強度I1と、606cm-1におけるピークの面積強度I2の比I2/I1が0.67〜1.17であるシリカガラスルツボ。
IPC (3件)：
C30B 29/06
, C30B 15/10
, C03B 20/00
C30B29/06 502B
, C30B15/10
, C03B20/00 H
4G014AH00
, 4G077AA02
, 4G077BA04
, 4G077CF10
, 4G077EG02
, 4G077HA12
, 4G077PD01
