特許
J-GLOBAL ID：201203051313617267

酸化物蒸着材と透明導電膜および太陽電池

発明者：
▲桑▼原 正和

▲桑▼原 正和 について


出願人/特許権者：
住友金属鉱山株式会社

住友金属鉱山株式会社 について


代理人 (1件)： 上田 章三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-170731
公開番号（公開出願番号）：特開2012-031460
出願日： 2010年07月29日
公開日（公表日）： 2012年02月16日
要約：
【課題】成膜時に導入する酸素量が少なくても、低抵抗で高い光透過性を有する透明導電膜が安定して製造できる酸化物蒸着材と、この酸化物蒸着材を用いて製造される透明導電膜とこの透明導電膜を電極に用いた太陽電池を提供すること。【解決手段】この酸化物蒸着材は、酸化インジウムを主成分とし、Gd/In原子数比で0.001〜0.070のガドリニウムを含む焼結体により構成され、かつ、CIE1976表色系におけるL*値が60〜94であることを特徴とする。上記L*値が60〜94である本発明の酸化物蒸着材は最適な酸素量を有するため、成膜真空槽への酸素ガス導入量が少なくても低抵抗で可視〜近赤外域における高透過性の透明導電膜を真空蒸着法で製造でき、酸素ガスの導入量が少ないため膜と蒸着材との組成差を小さくすることができ、量産時の膜組成の変動や特性の変動も低減することが可能となる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
酸化インジウムを主成分とし、ガドリニウムを含む焼結体により構成され、かつ、ガドリニウムの含有量がGd/In原子数比で0.001〜0.070で、CIE1976表色系におけるL*値が60〜94であることを特徴とする酸化物蒸着材。
IPC (5件)：
C23C 14/24 ,  C04B 35/00 ,  H01B 1/08 ,  H01B 5/14 ,  H01L 31/04
FI (7件)：
C23C14/24 E ,  C04B35/00 J ,  H01B1/08 ,  H01B5/14 A ,  H01L31/04 H ,  H01L31/04 M ,  H01L31/04 E
Fターム (44件)：
4G030AA11 ,  4G030AA34 ,  4G030BA02 ,  4G030BA15 ,  4K029AA06 ,  4K029AA09 ,  4K029AA11 ,  4K029AA24 ,  4K029BA45 ,  4K029BB07 ,  4K029BC09 ,  4K029BD01 ,  4K029CA02 ,  4K029CA04 ,  4K029DB05 ,  4K029DB08 ,  4K029DB10 ,  4K029DB21 ,  5F151AA02 ,  5F151AA03 ,  5F151AA04 ,  5F151AA05 ,  5F151AA08 ,  5F151AA09 ,  5F151AA10 ,  5F151CA15 ,  5F151CB14 ,  5F151DA03 ,  5F151DA04 ,  5F151DA07 ,  5F151FA02 ,  5F151FA06 ,  5F151FA13 ,  5F151FA15 ,  5F151GA03 ,  5F151GA04 ,  5G301CA02 ,  5G301CA15 ,  5G301CD03 ,  5G301CE01 ,  5G307FA01 ,  5G307FA02 ,  5G307FB01 ,  5G307FC09
引用特許：
審査官引用 (3件)
引用文献：
審査官引用 (2件)

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