特許
J-GLOBAL ID：200903034190269938

酸化物透明電極膜とその製造方法、透明導電性基材、太陽電池および光検出素子

発明者：
阿部 能之

阿部 能之 について

, 
石山 典子

石山 典子 について


出願人/特許権者：
住友金属鉱山株式会社

住友金属鉱山株式会社 について


代理人 (2件)： 鴨田 朝雄 ,  鴨田 哲彰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-324825
公開番号（公開出願番号）：特開2004-207221
出願日： 2003年09月17日
公開日（公表日）： 2004年07月22日
要約：
【課題】 可視光領域だけでなく赤外線領域においても透過性に優れ、しかも低抵抗値を有する酸化物透明電極膜を提供する。【解決手段】 チタンを含有する酸化インジウムを主成分とし、該酸化インジウムは結晶質であり、該酸化インジウムのインジウムがチタンに、チタン/インジウムの原子数比で0.003〜0.120の割合で置換され、かつ酸化物透明電極膜の比抵抗が5.7×10-4Ωcm以下であることを特徴とする。チタン/インジウムの原子数比で0.003〜0.050の割合で、かつ酸化物透明電極膜の比抵抗が4.0×10-4Ωcm以下であることがさらに好ましい。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
酸化インジウムを主成分とし、チタンを含有する酸化物透明電極膜において、酸化インジウムのインジウムがチタンに、チタン/インジウムの原子数比で0.003〜0.120の割合で、置換され、かつ酸化インジウムは結晶質であり、かつ酸化物透明電極膜の比抵抗が5.7×10-4Ωcm以下であることを特徴とする酸化物透明電極膜。
IPC (5件)：
H01B5/14 ,  C23C14/08 ,  H01B13/00 ,  H01L31/04 ,  H01L31/10
FI (6件)：
H01B5/14 A ,  C23C14/08 D ,  H01B13/00 503B ,  H01L31/04 H ,  H01L31/04 M ,  H01L31/10 H
Fターム (17件)：
4K029BA45 ,  4K029BC09 ,  4K029BD00 ,  4K029CA04 ,  4K029CA06 ,  4K029DC39 ,  5F049NA01 ,  5F049SE02 ,  5F051AA09 ,  5F051AA10 ,  5F051CB15 ,  5F051FA02 ,  5G307FA01 ,  5G307FB01 ,  5G307FC09 ,  5G323BA02 ,  5G323BB05
引用特許：
出願人引用 (18件)
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審査官引用 (7件)
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