酸化物透明電極膜とその製造方法、透明導電性基材、太陽電池および光検出素子

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：鴨田朝雄 , 鴨田哲彰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-324825
公開番号（公開出願番号）：特開2004-207221
出願日： 2003年09月17日
公開日（公表日）： 2004年07月22日
要約：

【課題】可視光領域だけでなく赤外線領域においても透過性に優れ、しかも低抵抗値を有する酸化物透明電極膜を提供する。【解決手段】チタンを含有する酸化インジウムを主成分とし、該酸化インジウムは結晶質であり、該酸化インジウムのインジウムがチタンに、チタン/インジウムの原子数比で0.003〜0.120の割合で置換され、かつ酸化物透明電極膜の比抵抗が5.7×10-4Ωcm以下であることを特徴とする。チタン/インジウムの原子数比で0.003〜0.050の割合で、かつ酸化物透明電極膜の比抵抗が4.0×10-4Ωcm以下であることがさらに好ましい。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

酸化インジウムを主成分とし、チタンを含有する酸化物透明電極膜において、酸化インジウムのインジウムがチタンに、チタン/インジウムの原子数比で0.003〜0.120の割合で、置換され、かつ酸化インジウムは結晶質であり、かつ酸化物透明電極膜の比抵抗が5.7×10-4Ωcm以下であることを特徴とする酸化物透明電極膜。

IPC (5件)：

H01B5/14 , C23C14/08 , H01B13/00 , H01L31/04 , H01L31/10

FI (6件)：

H01B5/14 A , C23C14/08 D , H01B13/00 503B , H01L31/04 H , H01L31/04 M , H01L31/10 H

Fターム (17件)：

4K029BA45 , 4K029BC09 , 4K029BD00 , 4K029CA04 , 4K029CA06 , 4K029DC39 , 5F049NA01 , 5F049SE02 , 5F051AA09 , 5F051AA10 , 5F051CB15 , 5F051FA02 , 5G307FA01 , 5G307FB01 , 5G307FC09 , 5G323BA02 , 5G323BB05

引用特許：

出願人引用 (12件)

特開昭59-204625号公報
赤外光検出素子および赤外光検出器
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-257959 出願人：日本電信電話株式会社
半導体受光素子とその製造方法、およびそれを用いた光センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-017203 出願人：富士ゼロックス株式会社

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審査官引用 (6件)

表示装置用電極板
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-194690 出願人：凸版印刷株式会社
透明導電膜およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-093778 出願人：出光興産株式会社
特開平2-309511

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