特許
J-GLOBAL ID：201203051819016083
レーザリフトオフ装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長澤 俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-055252
公開番号（公開出願番号）：特開2012-191112
出願日： 2011年03月14日
公開日（公表日）： 2012年10月04日
要約：
【課題】レーザ光をワークに照射することによりワークから発生する種々の粒塵による悪影響を除去すること。【解決手段】ワークステージ10のステージ部11の周縁に、環状外壁部21bと天井壁部21aから構成される環状壁部21が設置され、ステージ部11には、排気機構に連結する排出口12が複数箇所に設けられている。この排出口12には配管22を介して例えばポンプやファンなどの排気機構が連結され、環状壁部21内の空気を吸引する。ワーク1にレーザ光を照射することにより、そのエッジ部からガスと一緒に、環状外壁部21bと天井壁部21aとで区切られた内部空間Aに噴き出された粒塵は、排出口12に向かう流体の流れにより、ステージ部11に設けられた排出口12から排出される。【選択図】 図6
請求項（抜粋）：
基板上に材料層が形成されてなるワークを載置するステージ部と、該ワークに対し該基板を透過する波長域のレーザ光を出射するレーザ源と、該ワークと該レーザ源とを相対的に搬送しながら該基板を通してレーザ光を照射し、該基板と該材料層との界面で該材料層を分解して、該材料層を該基板から剥離するレーザリフトオフ装置において、
前記ワークにレーザ光を照射することによって該ワークのエッジ部から、該ワーク面に対して平行に噴出される粒塵を集塵する集塵機構を備え、
前記集塵機構は、前記ワークのエッジ部における基板と材料層の貼り合わせ面よりも上方に伸びだす壁面と、前記粒塵の排出口とを有し、
該壁面の端部は、前記レーザ光源から照射されるレーザ光を遮らないように、前記ワークのエッジ部の近傍に位置し、
前記ワークのエッジ部から、該ワーク面に対して平行に噴出される粒塵を、差圧を利用して該壁面と前記ステージ部の間の空間に導き、前記排出口から排出させる機構を備えた
ことを特徴とするレーザリフトオフ装置。
IPC (3件)：
H01L 33/32
, B23K 26/36
, B23K 26/16
H01L33/00 186
, B23K26/36
, B23K26/16
4E068CA11
, 4E068CE04
, 4E068CE09
, 4E068CG02
, 4E068DA10
, 5F041CA40
, 5F041CA77
, 5F041CA88
, 5F041DA03
, 5F041DA20
, 5F141CA40
, 5F141CA77
, 5F141CA88
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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