特許
J-GLOBAL ID：201203055094541239
接合装置および接合方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
綿貫 隆夫
, 岡村 隆志
, 堀米 和春
, 平井 善博
, 傳田 正彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-099610
公開番号（公開出願番号）：特開2012-231080
出願日： 2011年04月27日
公開日（公表日）： 2012年11月22日
要約：
【課題】接着層を介した部材同士の接続信頼性を向上する。【解決手段】上型11は、上加熱加圧部17を有する。下型12は、上下動可能な下加熱加圧部17と、上下方向に延在する支持ピン24とを有する。上加熱加圧部16、17には、クランプ面16a、17aが形成されている。支持ピン24は、下加熱加圧部17が上動することで相対的にクランプ面17aから退避し、下動することで相対的にクランプ面17aから突出する。支持ピン24がクランプ面17aから突出した状態で、支持ピン24は、ワークWを支持する。支持ピン24がクランプ面17aから退避した状態で、下加熱加圧部17は、支持ピン24から受け取ったワークWをクランプ面17aで載置したままクランプ面16aに押し当ててクランプする。上加熱加圧部16および下加熱加圧部17は、ワークWをクランプしたまま加熱加圧する。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
接着層を介して積層された複数の部材を含むワークを、上型と下型とで挟み込んで各部材を接合する接合装置であって、
前記上型は、前記ワークを加熱加圧する第1加熱加圧部を有し、
前記下型は、前記ワークを加熱加圧する上下動可能な第2加熱加圧部と、前記第2加熱加圧部が上動することで相対的に前記第2加熱加圧部のクランプ面から退避し、前記第2加熱加圧部が下動することで相対的に前記第2加熱加圧部のクランプ面から突出する支持部とを有することを特徴とする接合装置。
IPC (1件)：
FI (2件)：
H01L21/60 311T
, H01L21/60 311S
5F044KK02
, 5F044LL01
, 5F044LL05
, 5F044LL11
, 5F044PP16
, 5F044PP17
, 5F044PP19
, 5F044QQ03
