特許
J-GLOBAL ID：201203055193851797
位置測定装置、位置測定装置を用いた形状測定装置及び位置測定方法、並びに位置測定方法を用いた形状測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
中前 富士男
, 来田 義弘
, 今中 崇之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-011171
公開番号（公開出願番号）：特開2012-154637
出願日： 2011年01月21日
公開日（公表日）： 2012年08月16日
要約：
【課題】測定対象物の位置測定装置、形状測定装置、位置測定方法、及び形状測定方法を提供する。【解決手段】位置測定装置10は、支持部材14と、支持部材14に上端部が固定され自由状態で垂直配置された光ファイバー11と、光ファイバー11の下端部に設けられた探触子12と、光ファイバー11の上下方向中間位置にあって光ファイバー11の撓みを検知する光学振れ検知機構15と、測定対象物23を載せてX軸、Y軸、Z軸方向に測定対象物23を移動させるXYZステージ25と、光学振れ検知機構15及びXYZステージ25の制御部26とを有し、光ファイバー11は、光ファイバー11を揺らす振動手段30を介して支持部材14に取付けられ、探触子12がXYZテーブル25に載った測定対象物23に当接した場合の光ファイバー11の撓み量を光学振れ検知機構15で検知し、測定対象物23の特定部位の座標を検知する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
支持部材と、該支持部材に上端部が固定され自由状態で垂直配置された光ファイバーと、該光ファイバーの下端部に設けられた探触子と、前記光ファイバーの上下方向中間位置にあって該光ファイバーの測定対象物への接触に伴う撓みを検知する光学振れ検知機構と、前記測定対象物を載せてX軸、Y軸、Z軸方向に該測定対象物を移動させるXYZステージと、前記光学振れ検知機構及び前記XYZステージに連結される制御部とを有する位置測定装置であって、
前記光ファイバーは、該光ファイバーを揺らす振動手段を介して前記支持部材に取付けられ、前記探触子が前記XYZテーブルに載った前記測定対象物に当接した場合の前記光ファイバーの撓み量を前記光学振れ検知機構で検知し、前記測定対象物の特定部位の座標を検知することを特徴とする位置測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (9件)：
2F062AA04
, 2F062BB20
, 2F062CC26
, 2F062EE01
, 2F062EE62
, 2F062FF15
, 2F062GG71
, 2F062HH01
, 2F062HH13
