特許
J-GLOBAL ID：201203056396525263
波長モニタ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
酒井 宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-277508
公開番号（公開出願番号）：特開2012-129259
出願日： 2010年12月13日
公開日（公表日）： 2012年07月05日
要約：
【課題】複数の半導体レーザから後面方向に出射されるレーザ光の波長モニタ特性のばらつきを抑えることが可能な波長モニタを得る。【解決手段】半導体基板1に並列に形成された2つ以上の半導体レーザ101〜112から出射されたレーザ光の波長をモニタする波長モニタであって、各半導体レーザ101〜112からのレーザ光をコリメートするコリメートレンズ2と、コリメートレンズ2でコリメートされたレーザ光が入射可能に配置され周期性を有するエタロン3と、エタロン3を透過したレーザ光を受光して光強度を検出する光検出器4とを備え、各半導体レーザ101〜112から出射されたレーザ光のエタロン3内の光線伝搬角度が、数式1で得られる所定の角度になることを特徴とする波長モニタ。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
半導体基板に並列に形成された2つ以上の半導体レーザから出射されたレーザ光の波長をモニタする波長モニタであって、
前記各半導体レーザからのレーザ光をコリメートするレンズと、
前記レンズでコリメートされたレーザ光が入射可能に配置され周期性を有するフィルタと、
前記フィルタを透過したレーザ光を受光して光強度を検出する光検出器と、
を備え、
前記各半導体レーザから出射されたレーザ光の前記フィルタ内の光線伝搬角度が、下記の数式で得られる所定の角度になることを特徴とする波長モニタ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (2件)：
引用特許：
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