プラズマチャンバ部品用耐プラズマコーティング

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：安齋嘉章
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-535670
公開番号（公開出願番号）：特表2012-508467
出願日： 2009年11月05日
公開日（公表日）： 2012年04月05日
要約：

耐プラズマコーティング材料、耐プラズマコーティング、及びそのようなコーティングをハードウェア部品上に形成する方法。一実施形態では、ハードウェア部品は静電チャック(ESC)であり、耐プラズマコーティングはESCの表面上に形成される。耐プラズマコーティングは、熱溶射以外の方法によって形成され、これによって有利な材料特性を有する耐プラズマコーティングを提供する。

請求項（抜粋）：

基板と、前記基板の少なくとも一部の上に配置される耐プラズマコーティングを含み、前記耐プラズマコーティングは、前記基板に固有でないセラミックスを含み、1%未満の空孔率を有するプラズマ処理チャンバ部品。

IPC (5件)：

H01L 21/306 , H05H 1/46 , C23C 14/08 , C23C 16/40 , H01L 21/683

FI (6件)：

H01L21/302 101G , H05H1/46 M , C23C14/08 K , C23C14/08 J , C23C16/40 , H01L21/68 R

Fターム (29件)：

4K029AA02 , 4K029AA08 , 4K029AA24 , 4K029BA43 , 4K029BA50 , 4K029BB02 , 4K029BC01 , 4K029CA09 , 4K029CA13 , 4K029JA05 , 4K030BA42 , 4K030CA02 , 4K030CA06 , 4K030FA01 , 4K030KA47 , 5F004AA16 , 5F004BA09 , 5F004BB22 , 5F004BB30 , 5F004BC03 , 5F004BD04 , 5F004BD05 , 5F031HA02 , 5F031HA03 , 5F031HA16 , 5F031HA37 , 5F031MA32 , 5F031NA05 , 5F031PA26

引用特許：

審査官引用 (6件)

耐プラズマ性セラミックス部材
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-159557 出願人：コバレントマテリアル株式会社
反射鏡およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-290872 出願人：松下電工株式会社
載置台構造及び熱処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-081949 出願人：東京エレクトロン株式会社

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