特許
J-GLOBAL ID:201203058897238410

波長変換光学系及び紫外レーザ装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 岩崎 敬
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-174164
公開番号(公開出願番号):特開2012-032724
出願日: 2010年08月03日
公開日(公表日): 2012年02月16日
要約:
【課題】ARコートを施すことができない波長変換光学素子からの戻り光による影響を抑制し、長期間安定的に動作可能な波長変換光学系を提供する。【解決手段】複数の波長変換光学素子31〜36を有し、赤外〜可視領域のレーザ光を複数の波長変換光学素子により紫外領域のレーザ光に波長変換して出射する波長変換光学系30において、出射されるレーザ光が紫外領域である波長変換光学素子33,35,36の少なくともいずれかは、入射面及び出射面がレーザ光の光軸に対してn軸回りに所定の微小角度Δφ傾斜して配設される。【選択図】図1
請求項(抜粋):
複数の波長変換光学素子を有し、入射する赤外〜可視領域のレーザ光を前記複数の波長変換光学素子により紫外領域のレーザ光に波長変換して出射する波長変換光学系であって、 出射されるレーザ光が紫外領域である波長変換光学素子の少なくともいずれかは、角度位相整合で用いられ入射面及び出射面がレーザ光の光軸に対してn軸回りに所定の微小角度Δφ傾斜して配設されることを特徴とする波長変換光学系。
IPC (1件):
G02F 1/37
FI (1件):
G02F1/37
Fターム (10件):
2K002AA04 ,  2K002AB12 ,  2K002BA03 ,  2K002CA02 ,  2K002DA01 ,  2K002EA10 ,  2K002EA30 ,  2K002GA10 ,  2K002HA19 ,  2K002HA20
引用特許:
審査官引用 (7件)
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