特許
J-GLOBAL ID：201203062555367879

圧電体膜の前駆体溶液および圧電素子の製造方法

発明者：
小川 玲奈

小川 玲奈 について

, 
野口 元久

野口 元久 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  須澤 修 ,  宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-103450
公開番号（公開出願番号）：特開2012-235004
出願日： 2011年05月06日
公開日（公表日）： 2012年11月29日
要約：
【課題】1回の成膜工程で得られる圧電体膜の膜厚を厚くすることが可能で、かつ、保存安定性のよい圧電体膜の前駆体溶液の提供。【解決手段】酢酸及び/又はプロピオン酸からなるカルボン酸と、酢酸鉛と、Zr(OR1)4で表されるジルコニウムアルコキシドと、(OR1は炭素数が3〜8の直鎖状または分岐鎖状のアルコキシ基である)Ti(OR2)4で表されるチタニウムアルコキシドと、(OR2は炭素数が3〜8の直鎖状または分岐鎖状のアルコキシ基である)高分子化合物と、を含む原料を混合することで得られる圧電体膜の前駆体溶液であって、前記原料全量に対する前記カルボン酸の割合が20質量%以上60質量%以下であり、かつ、前記ジルコニウムアルコキシドの配位子OR1または前記チタニウムアルコキシドの配位子OR2の少なくとも一方の配位子が分岐鎖状のアルコキシ基であることを特徴とする圧電体膜の前駆体溶液。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
酢酸及び/又はプロピオン酸からなるカルボン酸と、 酢酸鉛と、 Zr(OR1)4で表されるジルコニウムアルコキシドと、 (OR1は炭素数が3〜8の直鎖状または分岐鎖状のアルコキシ基である) Ti(OR2)4で表されるチタニウムアルコキシドと、 (OR2は炭素数が3〜8の直鎖状または分岐鎖状のアルコキシ基である) 高分子化合物と、 を含む原料を混合することで得られる圧電体膜の前駆体溶液であって、 前記原料全量に対する前記カルボン酸の割合が20質量%以上60質量%以下であり、かつ、 前記ジルコニウムアルコキシドの配位子OR1または前記チタニウムアルコキシドの配位子OR2の少なくとも一方の配位子が分岐鎖状のアルコキシ基であることを特徴とする圧電体膜の前駆体溶液。
IPC (9件)：
H01L 41/24 ,  C01G 25/00 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/09 ,  C09D 185/00 ,  C09D 5/00 ,  C08L 101/00
FI (9件)：
H01L41/22 A ,  C01G25/00 ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/08 J ,  C09D185/00 ,  C09D5/00 Z ,  C08L101/00
Fターム (26件)：
4G048AA03 ,  4G048AB02 ,  4G048AC01 ,  4G048AD02 ,  4G048AD08 ,  4G048AE08 ,  4J002CH021 ,  4J002EC078 ,  4J002EC079 ,  4J002EF036 ,  4J002EG047 ,  4J002GF00 ,  4J002GQ00 ,  4J002GQ01 ,  4J002GS00 ,  4J002HA04 ,  4J002HA05 ,  4J038DF011 ,  4J038DM021 ,  4J038JA37 ,  4J038JA47 ,  4J038JC38 ,  4J038MA07 ,  4J038MA08 ,  4J038MA09 ,  4J038PB09
引用特許：
審査官引用 (3件)

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