前駆体溶液、前駆体溶液の製造方法、PZTN複合酸化物、PZTN複合酸化物の製造方法、圧電素子、インクジェットプリンタ、強誘電体キャパシタ、強誘電体メモリ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：布施行夫 , 大渕美千栄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-271879
公開番号（公開出願番号）：特開2006-083040
出願日： 2004年09月17日
公開日（公表日）： 2006年03月30日
要約：

【課題】PZTN複合酸化物(Pb、Zr、Nb、Tiによる構成元素)を形成するための前駆体溶液の製造方法、および前駆体溶液を用いたPZTN複合酸化物の製造方法を提供する。【解決手段】カルボン酸鉛を、アルコキシ基を有する有機溶媒に溶解して、第1溶液を形成する工程と、前記第1溶液を加熱処理し、該カルボン酸鉛と前記アルコキシ基を有する有機溶媒との配位子置換反応によって鉛アルコキシドを形成し、該鉛アルコキシドを含む第2溶液を形成する工程と、前記第2溶液に、Pb以外のZr、TiおよびNbから選ばれる少なくとも1種の金属アルコキシドを混合して、Pb、Zr、TiおよびNbのそれぞれの金属アルコキシドを含む第3溶液を形成する工程と、前記第3溶液に水を加え、金属アルコキシドの加水分解・縮合を行って、PZTN複合酸化物の前駆体を含む第4溶液を形成する工程と、を含む製造方法。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

Pb、Zr、TiおよびNbを構成元素とするPZTN複合酸化物をゾルゲル法によって形成するための前駆体溶液の製造方法であって、少なくともカルボン酸鉛を、アルコキシ基を有する有機溶媒に溶解して、第1溶液を形成する工程と、前記第1溶液を加熱処理し、前記カルボン酸鉛の結晶水を除去するとともに、該カルボン酸鉛と前記アルコキシ基を有する有機溶媒との配位子置換反応によって鉛アルコキシドを形成し、該鉛アルコキシドを含む第2溶液を形成する工程と、前記第2溶液に、Zr、TiおよびNbから選ばれる少なくとも1種の金属アルコキシドを混合して、Pb、Zr、TiおよびNbのそれぞれの金属アルコキシドを含む第3溶液を形成する工程と、前記第3溶液に水を加え、前記金属アルコキシドの加水分解・縮合を行って、PZTN複合酸化物の前駆体を含む第4溶液を形成する工程と、を含む、前駆体溶液の製造方法。

IPC (3件)：

C01G 33/00 , H01L 41/24 , H01L 41/187

FI (4件)：

C01G33/00 A , H01L41/22 A , H01L41/18 101D , H01L41/18 101J

Fターム (7件)：

4G048AA03 , 4G048AB02 , 4G048AC01 , 4G048AC02 , 4G048AD02 , 4G048AD10 , 4G048AE08

引用特許：

審査官引用 (9件)

ゾルーゲル法による強誘電体膜の形成方法、キャパシタの製造方法、その原料溶液の調製方法及びその原料溶液
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-069114 出願人：日本テキサス・インスツルメンツ株式会社, 株式会社トリケミカル研究所
特開昭63-210001
特開平2-137727

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