特許
J-GLOBAL ID：201103064906212961
圧電体薄膜、液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
上柳 雅誉
, 須澤 修
, 宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-157539
公開番号（公開出願番号）：特開2011-014714
出願日： 2009年07月02日
公開日（公表日）： 2011年01月20日
要約：
【課題】外周部での厚膜化、液だれを防ぎつつ、人体への毒性および環境への負荷を限りなくなくしたリンス液を用いた圧電体薄膜の製造方法を得ること。【解決手段】酢酸が溶媒としての役割を果たすとともに、水との親和性がよいため、水がコロイド溶液71に混じっても沈殿が生じにくく、コロイド溶液71を基板101上に塗布した後に、水で外周部105に塗布されたコロイド溶液71を取り除くリンスの際に、外周部105の厚膜化、液だれを生じにくくできる。したがって、人体への毒性および環境への負荷が限りなくない水を使ってリンス工程(S3)が行え、外周部105での厚膜化、液だれを防ぎつつ、人体への毒性および環境への負荷を限りなくなくしたリンス液を用いた圧電体薄膜70の製造方法を得ることができる。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
酸化鉛の原料としての酢酸鉛と、鉛以外の金属の酸化物の原料としての有機金属化合物と、酢酸とを含むコロイド溶液を基板上に塗布する工程と、
前記基板の外周部に塗布された前記コロイド溶液を水によって取り除くリンス工程とを含む
ことを特徴とする圧電体薄膜の製造方法。
IPC (4件)：
H01L 41/24
, H01L 41/09
, H01L 41/187
, B41J 2/16
H01L41/22 A
, H01L41/08 J
, H01L41/18 101D
, B41J3/04 103H
2C057AF93
, 2C057AP16
, 2C057BA14
