特許
J-GLOBAL ID：201203064974032103
光学顕微鏡、及び分光測定方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
家入 健
, 岩瀬 康弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-054538
公開番号（公開出願番号）：特開2012-189891
出願日： 2011年03月11日
公開日（公表日）： 2012年10月04日
要約：
【課題】高い分解能の測定を行うことができる光学顕微鏡、及び分光測定方法を提供すること。【解決手段】本発明の一態様にかかる分光測定装置は、レーザ光源10と、光ビームを集光して、試料22に入射させる対物レンズ21と、試料22上における光ビームのスポット位置を走査するY走査装置13と、試料22に入射された光ビームのうち、異なる波長となって試料22から対物レンズ21側に出射する出射光と光源10から前記試料に入射する光ビームとを分離するビームスプリッタ17と、ビームスプリッタ17により分離された出射光を波長に応じて空間的に分散させる分光器31と、分光器31で分散された出射光を検出する検出器32と、分光器31の入射側に配置され、出射光を分光器31側に通過させる複数のピンホール42が配列されたピンホールアレイ30を備えるものである。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
光源と、
前記光源からの光ビームを集光して、試料に入射させる対物レンズと、
前記試料に対する光ビームの位置を相対移動させて、前記試料上における前記光ビームのスポット位置を走査する走査手段と、
前記試料に入射された光ビームのうち、異なる波長となって前記試料から前記対物レンズ側に出射する出射光と前記レーザ光源から前記試料に入射する光ビームとを分離する光分岐手段と、
前記光分岐手段により分離された出射光を波長に応じて空間的に分散させる分光器と、
アレイ状に配列された受光画素を有し、前記分光器で分散された出射光を検出する2次元アレイ光検出器と、
前記分光器の入射側に配置され、集光された出射光を前記分光器側に通過させる複数の光通過部が前記分光器の分散方向と直交する方向に沿って配列された光制限手段と、
を備える光学顕微鏡。
IPC (3件)：
G02B 21/00
, G01N 21/65
, G01N 21/64
G02B21/00
, G01N21/65
, G01N21/64 E
2G043AA01
, 2G043EA03
, 2G043GA02
, 2G043GB01
, 2G043HA01
, 2G043HA02
, 2G043HA09
, 2G043JA04
, 2G043JA08
, 2G043LA01
, 2H052AA08
, 2H052AC04
, 2H052AC15
, 2H052AC27
, 2H052AC29
, 2H052AC34
, 2H052AD34
, 2H052AD35
, 2H052AF02
, 2H052AF06
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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