ガス検出装置とガス検出方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：塩入明 , 塩入みか
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-117795
公開番号（公開出願番号）：特開2012-247239
出願日： 2011年05月26日
公開日（公表日）： 2012年12月13日
要約：

【構成】 MEMSガスセンサを用いてガスを検出する。ガスセンサのヒータへの電力を、低レベルと、検出対象ガスの検出に適した高レベルと、0レベルとの間で変化させることにより、低レベルで被毒ガスを蒸発もしくは酸化し、高レベルで検出対象ガスを検出する。【効果】 MEMSガスセンサの被毒を防止する。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

シリコン基板表面の絶縁膜にヒータを備えるガス検知部が設けられ、前記ガス検知部の周囲で前記絶縁膜の底部に空洞が設けられているMEMSガスセンサと、電源と、MEMSガスセンサの駆動回路とを備えるガス検出装置において、前記駆動回路は、前記ヒータへの電力を、被毒ガスを蒸発もしくは酸化するのに適した低レベルと、検出対象ガスの検出に適した高レベルと、0レベルとの間で変化させるように構成されていることを特徴とする、ガス検出装置。

IPC (3件)：

G01N 27/12 , G01N 25/30 , G01N 27/16

FI (3件)：

G01N27/12 D , G01N25/30 , G01N27/16 Z

Fターム (29件)：

2G040AA02 , 2G040AB16 , 2G040BA12 , 2G040BA23 , 2G040CA13 , 2G040CA22 , 2G040DA12 , 2G040EA02 , 2G046AA05 , 2G046AA19 , 2G046BA01 , 2G046BA04 , 2G046BA06 , 2G046BB02 , 2G046BC05 , 2G046BE01 , 2G046DB03 , 2G046EB05 , 2G046FB02 , 2G046FE31 , 2G046FE39 , 2G060AA02 , 2G060AB17 , 2G060AE19 , 2G060AF07 , 2G060BA03 , 2G060HB06 , 2G060HC01 , 2G060HE02

引用特許：

審査官引用 (7件)

ガス検出器
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-065517 出願人：大阪瓦斯株式会社
特開平1-221649
特許第3087982号

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