可燃性ガス検出装置及び可燃性ガス検出方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：塩入明 , 塩入みか
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-031750
公開番号（公開出願番号）：特開2012-172973
出願日： 2011年02月17日
公開日（公表日）： 2012年09月10日
要約：

【構成】 MEMSガスセンサは、シリコン基板に設けた絶縁膜に、SnO2膜とヒータ膜とを設けると共に、SnO2へ到達するガスを処理するフィルタと備えている。電源によりヒータ膜に電力を供給し、SnO2膜を間欠的にかつパルス的に可燃性ガスの検出温度へ加熱し、可燃性ガスを検出すると共に、100〜200°Cの被毒ガスの除去温度へSnO2膜を間欠的に加熱する。【効果】フィルタを通過した被毒ガスによる被毒を防止できる。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

シリコン基板に設けた絶縁膜に、SnO2膜とヒータ膜とを設けると共に、前記SnO2へ到達するガスを吸着するフィルタを設けたMEMSガスセンサと、電源と、前記ヒータ膜に電力を供給し、前記SnO2膜を間欠的にかつパルス的に可燃性ガスの検出温度へ加熱するヒータ制御部と、可燃性ガスの検出温度へ加熱されているSnO2膜の抵抗値から、可燃性ガスを検出するガス検出部とを備えた可燃性ガス検出装置において、 100〜200°Cの被毒ガスの除去温度へSnO2膜を間欠的に加熱するためのクリーニング手段とを備えていることを特徴とする、可燃性ガス検出装置。

IPC (2件)：

G01N 27/12 , G01N 27/04

FI (2件)：

G01N27/12 B , G01N27/04 Z

Fターム (50件)：

2G046AA02 , 2G046AA19 , 2G046BA01 , 2G046BA09 , 2G046BB02 , 2G046BB04 , 2G046BD03 , 2G046BD05 , 2G046BD06 , 2G046BE03 , 2G046BF01 , 2G046DB01 , 2G046DB07 , 2G046FB02 , 2G046FE09 , 2G046FE11 , 2G046FE12 , 2G046FE21 , 2G046FE25 , 2G046FE38 , 2G046FE39 , 2G060AA02 , 2G060AB16 , 2G060AB17 , 2G060AB21 , 2G060AE19 , 2G060AF02 , 2G060AF07 , 2G060AG10 , 2G060BA03 , 2G060BB02 , 2G060BB03 , 2G060BB04 , 2G060BB09 , 2G060BB12 , 2G060BB14 , 2G060BB16 , 2G060BB18 , 2G060HA01 , 2G060HA07 , 2G060HB02 , 2G060HB03 , 2G060HB06 , 2G060HC08 , 2G060HC09 , 2G060HC10 , 2G060HC14 , 2G060HC15 , 2G060JA01 , 2G060KA01

引用特許：

審査官引用 (9件)

可燃性ガス検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-274525 出願人：富士電機機器制御株式会社
ガス検出器
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-065517 出願人：大阪瓦斯株式会社
薄膜ガスセンサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-202547 出願人：富士電機機器制御株式会社, 大阪瓦斯株式会社

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