特許
J-GLOBAL ID：201203068498683538

砥粒の回収方法、及び回収装置

発明者：
赤上 陽一

赤上 陽一 について

, 
久住 孝幸

久住 孝幸 について

, 
池田 洋

池田 洋 について


出願人/特許権者：
秋田県

秋田県 について


代理人 (3件)： 福田 賢三 ,  福田 伸一 ,  加藤 恭介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-156485
公開番号（公開出願番号）：特開2012-016796
出願日： 2010年07月09日
公開日（公表日）： 2012年01月26日
要約：
【課題】研磨システムにおいて、使用済みのスラリーから、加工屑と使用済みの砥粒を分離して未使用の砥粒を再利用することができる砥粒の回収方法、及び回収装置を提案する。【解決手段】本発明の砥粒の回収方法は、研磨屑と砥粒を含有する使用済みの研磨スラリーを分離筒に収容した状態で、回転させて径方向に遠心力を作用させつつ、軸方向の上下に電極を臨ませると共に径方向の内側より外側での電極を狭めた状態で電界をさせる処理を施すことにより、径方向の内側から研磨屑や使用済み砥粒と研磨屑の結合物を分離し、径方向の外側から砥粒を回収することを特徴とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
研磨屑と砥粒を含有する使用済みの研磨スラリーを分離筒に収容した状態で、軸を中心に回転させて径方向に遠心力を作用させつつ、軸方向の上下に電極を臨ませると共に径方向の内側より外側での配設間隔を狭めた状態で電界を作用させる処理を施すことにより、径方向の内側に設けた排出口から研磨屑や使用済み砥粒と研磨屑の結合物を分離し、径方向の外側に設けた回収口から砥粒を回収することを特徴とする砥粒の回収方法。
IPC (1件)：
B24B 55/12
FI (1件)：
B24B55/12
Fターム (2件)：
3C047GG13 ,  3C047GG17
引用特許：
出願人引用 (4件)
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