特許
J-GLOBAL ID:201203072944371445

シリカガラスルツボの製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): SK特許業務法人 ,  奥野 彰彦 ,  伊藤 寛之
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-270478
公開番号(公開出願番号):特開2012-116735
出願日: 2010年12月03日
公開日(公表日): 2012年06月21日
要約:
【課題】内面を無気泡化させたシリカガラスルツボを製造する方法を提供する。【解決手段】ルツボ形状成形体2を回転させながら減圧し、壁部402の内面側をアーク加熱によって溶融した状態にて、シリカガラスルツボ4に与える回転数を制御して、壁部の透明層405の表面近傍に存在する気泡が残存するシリカガラス層を底部401に向けて移動させ、底部の内面側をアーク加熱によって溶融した状態にて、シリカガラスルツボに与える回転数を制御して、該底部の透明層の表面近傍に存在する気泡が残存するシリカガラス層を底部の径方向外側に移動させて、シリカガラスルツボの透明層の気泡が残存するシリカガラス層を底部の径方向外側に集め、底部の内面側をアーク加熱によって溶融した状態にて、シリカガラスルツボに与える回転数を制御して、底部の透明層表面の無気泡層の一部を底部の径方向外側に移動させて、該無気泡層により気泡の集まった領域を被覆する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
回転するモールド内にシリカ原料粉を供給し、ルツボ形状成形体を形成する工程と、 前記ルツボ形状成形体を回転させながら、内面から外面の方向に減圧しつつアーク加熱して、内面側の透明層及び外面側の気泡層を有する、底部及び該底部に連なる壁部からなる有底円筒状のシリカガラスルツボを形成する工程と、 前記シリカガラスルツボの内面側をアーク加熱によって溶融した状態にて、該シリカガラスルツボに与える回転数を制御して、該シリカガラスルツボの前記透明層の表面近傍の気泡が残存するシリカガラス層を底部の径方向外側の透明層に集める工程と、 前記シリカガラスルツボの内面側をアーク加熱によって溶融した状態にて、該シリカガラスルツボに与える回転数を制御して、前記気泡が残存するシリカガラス層が移動して露出した前記透明層表面の無気泡層の一部を底部の径方向外側に移動させて、該無気泡層により気泡の集まった領域を被覆する工程と、 を含む、シリカガラスルツボの製造方法。
IPC (1件):
C03B 20/00
FI (2件):
C03B20/00 H ,  C03B20/00 G
Fターム (1件):
4G014AH00
引用特許:
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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