特許
J-GLOBAL ID：201203084135949892

パターン形成装置およびパターン形成方法

発明者：
菊池 浩明

菊池 浩明 について


出願人/特許権者：
富士フイルム株式会社

富士フイルム株式会社 について


代理人 (4件)： 渡辺 望稔 ,  三和 晴子 ,  伊東 秀明 ,  三橋 史生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-077923
公開番号（公開出願番号）：特開2012-210594
出願日： 2011年03月31日
公開日（公表日）： 2012年11月01日
要約：
【課題】撥液剤により構成された膜にアライメントマークを形成することができるパターン形成装置およびパターン形成方法を提供する。【解決手段】基板上に所定のパターンを形成するパターン形成装置である。基板上に形成された、撥液剤により構成された膜に、アライメントマークとなるマークパターンを露光するマーク露光部と、マークパターンの露光領域に可視化インクを印刷し、アライメントマークを形成するマーク印刷部と、さらに、アライメントマークを検出し、アライメントマークの位置情報を得るマーク検出部と、アライメントマークの位置情報に基づいて膜に形成するパターンの位置を変えるか、または基板の位置を変えてパターンを形成する位置を調整する調整部と、膜にパターンを形成する画像形成部とを有する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板上に所定のパターンを形成するパターン形成装置であって、 前記基板上に形成された、撥液剤により構成された膜に、アライメントマークとなるマークパターンを露光するマーク露光部と、 前記マークパターンの露光領域に可視化インクを印刷し、前記アライメントマークを形成するマーク印刷部とを有することを特徴とするパターン形成装置。
IPC (4件)：
B05C 9/10 ,  B05D 7/24 ,  B05D 5/00 ,  B05C 5/00
FI (4件)：
B05C9/10 ,  B05D7/24 301M ,  B05D5/00 Z ,  B05C5/00 101
Fターム (18件)：
4D075AC07 ,  4D075AC41 ,  4D075AC88 ,  4D075CA36 ,  4D075CA37 ,  4D075DC24 ,  4D075EA06 ,  4D075EA33 ,  4F041AA02 ,  4F041AA05 ,  4F041AB01 ,  4F041BA21 ,  4F042AA02 ,  4F042AA06 ,  4F042BA08 ,  4F042DA00 ,  4F042DF15 ,  4F042ED03
引用特許：
審査官引用 (3件)

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