特許
J-GLOBAL ID：201203085345504245

磁気記録媒体膜形成用スパッタリングターゲットおよびその製造方法

発明者：
石山 宏一

石山 宏一 について

, 
野中 荘平

野中 荘平 について

, 
除補 正則

除補 正則 について


出願人/特許権者：
三菱マテリアル株式会社

三菱マテリアル株式会社 について


代理人 (1件)： 杉浦 秀幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-254164
公開番号（公開出願番号）：特開2012-102387
出願日： 2010年11月12日
公開日（公表日）： 2012年05月31日
要約：
【課題】 スパッタリング時にパーティクルの発生を抑制して異常放電を防止可能であり、安定してFePt-C膜を得ることができる磁気記録媒体膜形成用スパッタリングターゲットおよびその製造方法を提供すること。【解決手段】 磁気記録媒体膜形成用スパッタリングターゲットが、FePt合金相中にC相が分散している組織を有した焼結体からなる。また、このスパッタリングターゲットの製造方法は、FePt合金粉と、Pt粉と、アセチレンガスの熱分解により生成されたカーボンブラック粉と、の混合粉末を、真空または不活性ガス雰囲気中でホットプレスする工程を有している。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
FePt合金相中にC相が分散している組織を有した焼結体からなることを特徴とする磁気記録媒体膜形成用スパッタリングターゲット。
IPC (6件)：
C23C 14/34 ,  G11B 5/851 ,  G11B 5/64 ,  C22C 1/10 ,  C22C 1/05 ,  B22F 3/14
FI (6件)：
C23C14/34 A ,  G11B5/851 ,  G11B5/64 ,  C22C1/10 E ,  C22C1/05 Z ,  B22F3/14 D
Fターム (31件)：
4K018AA02 ,  4K018AB07 ,  4K018AC01 ,  4K018BA01 ,  4K018BA16 ,  4K018BB04 ,  4K018BC12 ,  4K018EA01 ,  4K018FA01 ,  4K018HA08 ,  4K018KA29 ,  4K018KA42 ,  4K020AA21 ,  4K020AC07 ,  4K020BB29 ,  4K029BA21 ,  4K029BA64 ,  4K029BC06 ,  4K029BD11 ,  4K029CA05 ,  4K029DC04 ,  4K029DC09 ,  4K029DC34 ,  4K029DC39 ,  5D006BB05 ,  5D006BB07 ,  5D112AA05 ,  5D112BB02 ,  5D112FB02 ,  5D112GB02 ,  5D112GB04
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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