特許
J-GLOBAL ID：201203085847690883

感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びに、該組成物を用いたレジスト膜及びパターン形成方法

発明者：
土村 智孝

土村 智孝 について

, 
椿 英明

椿 英明 について

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高橋 年哉

高橋 年哉 について


出願人/特許権者：
富士フイルム株式会社

富士フイルム株式会社 について


代理人 (2件)： 高松 猛 ,  矢澤 清純
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-148386
公開番号（公開出願番号）：特開2012-013811
出願日： 2010年06月29日
公開日（公表日）： 2012年01月19日
要約：
【課題】特定のグアニジン化合物を含有することにより、スカム低減性に優れ、解像性が優れることにより良好な形状のパターンを形成することができ、感度、LERにも優れ、更にPEB温度依存性の抑制された感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、この組成物を用いて形成されたレジスト膜、並びに、この組成物を用いたパターン形成方法を提供する。【解決手段】logP値1.2以上のグアニジン化合物(A)、及び活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物(B)を含有する感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
logP値1.2以上のグアニジン化合物(A)、及び活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物(B)を含有する感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。
IPC (5件)：
G03F 7/004 ,  G03F 7/039 ,  G03F 7/038 ,  C08F 20/10 ,  H01L 21/027
FI (6件)：
G03F7/004 503A ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/039 601 ,  G03F7/038 601 ,  C08F20/10 ,  H01L21/30 502R
Fターム (100件)：
2H125AE03P ,  2H125AE04P ,  2H125AE05P ,  2H125AF17P ,  2H125AF18P ,  2H125AF19P ,  2H125AF21P ,  2H125AF27P ,  2H125AF34P ,  2H125AF35P ,  2H125AF36P ,  2H125AF37P ,  2H125AF38P ,  2H125AF39P ,  2H125AF43P ,  2H125AF45P ,  2H125AF52P ,  2H125AF53P ,  2H125AF55P ,  2H125AF70P ,  2H125AH05 ,  2H125AH06 ,  2H125AH12 ,  2H125AH13 ,  2H125AH15 ,  2H125AH17 ,  2H125AH19 ,  2H125AH29 ,  2H125AJ04X ,  2H125AJ04Y ,  2H125AJ13X ,  2H125AJ14X ,  2H125AJ14Y ,  2H125AJ43X ,  2H125AJ44Y ,  2H125AJ47Y ,  2H125AJ48X ,  2H125AJ48Y ,  2H125AJ55X ,  2H125AJ59X ,  2H125AJ63X ,  2H125AJ64X ,  2H125AJ64Y ,  2H125AJ65X ,  2H125AJ65Y ,  2H125AJ68X ,  2H125AJ69X ,  2H125AJ70Y ,  2H125AM12P ,  2H125AM15P ,  2H125AM22P ,  2H125AM23P ,  2H125AM27P ,  2H125AM32P ,  2H125AM86P ,  2H125AM94P ,  2H125AM99P ,  2H125AN38P ,  2H125AN39P ,  2H125AN42P ,  2H125AN45P ,  2H125AN54P ,  2H125AN57P ,  2H125AN61P ,  2H125AN62P ,  2H125AN65P ,  2H125AN67P ,  2H125AN82P ,  2H125AN86P ,  2H125BA01P ,  2H125BA26P ,  2H125BA32P ,  2H125BA33P ,  2H125CA12 ,  2H125CB08 ,  2H125CB09 ,  2H125CB12 ,  2H125CB16 ,  2H125CC01 ,  2H125CC03 ,  2H125CC15 ,  2H125CC17 ,  2H125CD01P ,  2H125CD05P ,  2H125CD35 ,  2H125CD40 ,  2H125FA03 ,  4J100AJ02S ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08R ,  4J100BA03R ,  4J100BC09P ,  4J100BC09Q ,  4J100BC09R ,  4J100BC53P ,  4J100BC53Q ,  4J100DA01 ,  4J100DA04 ,  4J100JA38
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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