特許
J-GLOBAL ID:201203086696367615

固体物質試料の極表面弾性率の測定方法及びそれを用いた樹脂表面の対膜接着性評価方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 正林 真之 ,  林 一好
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-194974
公開番号(公開出願番号):特開2012-052885
出願日: 2010年08月31日
公開日(公表日): 2012年03月15日
要約:
【課題】固体物質資料の極表面の弾性率の評価方法を提供する。【解決手段】原子間力顕微鏡を用いた樹脂フィルム等の固体物質試料の極表面の弾性率の測定方法であって、原子間力顕微鏡の探針を、固体物質試料に塑性変形を与えることなく弾性変形を与える範囲内の固体物質試料の変位量である弾性変位量で接触させる。具体的には、探針が樹脂フィルムへ押し込まれる際の探針に負荷される押込荷重と、その際の樹脂フィルムの変位量である押込変位量との関係を測定する押込工程と、樹脂フィルムへ押し込まれた探針が荷重を弱めて離脱する際の離脱荷重と、その際の樹脂フィルムの変位量である離脱変位量と、の関係を測定する離脱工程とを対比して前記弾性変位量を決定する。【選択図】図2
請求項(抜粋):
原子間力顕微鏡を用いた固体物質試料の極表面の弾性率の測定方法であって、 前記原子間力顕微鏡の探針を、前記固体物質試料に塑性変形を与えることなく弾性変形を与える範囲内の前記固体物質試料の変位量である弾性変位量で接触させることを特徴とする固体物質試料の極表面弾性率の測定方法。
IPC (3件):
G01N 3/00 ,  G01Q 60/24 ,  G01Q 70/14
FI (3件):
G01N3/00 A ,  G01N13/16 101 ,  G01N13/10 111L
Fターム (7件):
2G061AA02 ,  2G061AB01 ,  2G061DA08 ,  2G061EA01 ,  2G061EA02 ,  2G061EB02 ,  2G061EC02
引用特許:
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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