特許
J-GLOBAL ID：200903049576805297

マイクロ材料試験装置及びこれによる力学特性評価方法

発明者：
磯野 吉正

磯野 吉正 について


出願人/特許権者：
関西ティー・エル・オー株式会社

関西ティー・エル・オー株式会社 について


代理人 (1件)： 武石 靖彦 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-006252
公開番号（公開出願番号）：特開2003-207432
出願日： 2002年01月15日
公開日（公表日）： 2003年07月25日
要約：
【要約】【課題】 マイクロ材料の力学特性を原形のまま直接高精度に測定し、評価できるマイクロ材料試験装置及びこれによる力学特性評価方法を提供する。【解決手段】 走査型プローブ顕微鏡2の試料ステージ部に、微小試験片1に対して引張り又は圧縮荷重を負荷するためのアクチュエータと、これによる微小試験片1への負荷を検出する手段とを備えた微小引張り・圧縮試験機構3を装備し、引張り又は圧縮負荷による試験片1の微小歪を走査型プローブ顕微鏡2の試料表面観測系を利用して測定する。
請求項（抜粋）：
走査型プローブ顕微鏡の試料ステージ部に、微小試験片に対して引張り又は圧縮荷重を負荷するためのアクチュエータと、これによる微小試験片への負荷を検出する手段とを備えた微小引張り・圧縮試験機構を装備し、引張り又は圧縮負荷による試験片の微小歪を走査型プローブ顕微鏡の試料表面観測系を利用して測定することを特徴とするマイクロ材料試験装置。
IPC (7件)：
G01N 3/08 ,  G01B 21/02 ,  G01B 21/30 ,  G01B 21/32 ,  G01N 3/42 ,  G01N 13/10 ,  G01N 13/16
FI (7件)：
G01N 3/08 ,  G01B 21/02 Z ,  G01B 21/30 ,  G01B 21/32 ,  G01N 3/42 A ,  G01N 13/10 F ,  G01N 13/16 A
Fターム (25件)：
2F069AA43 ,  2F069AA60 ,  2F069AA68 ,  2F069BB40 ,  2F069GG01 ,  2F069GG04 ,  2F069GG07 ,  2F069GG18 ,  2F069GG52 ,  2F069GG62 ,  2F069HH05 ,  2F069HH30 ,  2F069JJ07 ,  2F069JJ25 ,  2F069LL03 ,  2F069PP04 ,  2F069RR03 ,  2F069RR05 ,  2G061AA01 ,  2G061AA02 ,  2G061BA07 ,  2G061CB20 ,  2G061EA03 ,  2G061EA04 ,  2G061EB10
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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