保護膜塗布装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：松本昂 , 伊藤憲二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-067622
公開番号（公開出願番号）：特開2012-200673
出願日： 2011年03月25日
公開日（公表日）： 2012年10月22日
要約：

【課題】洗浄時に洗浄液が環状フレーム押さえに当たってウエーハ上面に飛散することのない保護膜塗布装置を提供することである。【解決手段】環状フレーム押さえ手段49は、強磁性体からなる錘部92と、錘部に連結され環状フレームを抑える爪部94とを含む振り子体90と、スピンナテーブルの外周部に配設されて振り子体を回動可能に支持する支持部88と、爪部が環状フレームを押さえる押さえ位置と爪部が環状フレームを解放する解放位置との間で回動可能なように振り子体を支持部に回動可能に取り付ける振り子軸95と、錘部に対面して支持部に固定され、爪部が解放位置に位置付けられた状態で錘部を所定の磁力で固定する永久磁石からなる錘固定部96とを有する。スピンナテーブルの回転速度が所定速度以下の時には、永久磁石の磁力が振り子体の遠心力に打ち勝って錘固定部が錘部を固定することにより爪部が解放位置に位置付けられる。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

環状フレームに装着された粘着シート上に貼着された板状物を吸引保持する吸引保持面を有する回転可能なスピンナテーブルと、該スピンナテーブルの外周に互いに所定の間隔を有して複数配設され該スピンナテーブルの回転によって生じる遠心力によって該環状フレームを押さえる環状フレーム押さえ手段と、該スピンナテーブルで吸引保持された板状物に保護膜を塗布する保護膜塗布手段と、該環状フレーム上に飛散した保護膜を除去する除去液を回転する該環状フレームへ供給して該環状フレームを洗浄する環状フレーム洗浄手段と、を備えた保護膜塗布装置であって、該環状フレーム押さえ手段は、少なくとも一部に強磁性体を含む錘部と、該錘部に連結され該環状フレームを抑える爪部とを含む振り子体と、該スピンナテーブルの外周部に配設されて該振り子体を回動可能に支持する支持部と、該爪部が該環状フレームを押さえる押さえ位置と該爪部が該環状フレームを解放する解放位置との間で回動可能なように、該振り子体を該支持部に回動可能に取り付ける振り子軸と、該錘部に対面して配設され、該爪部が該解放位置に位置付けられた状態で該錘部を所定の磁力で固定する永久磁石からなる錘固定部とを有し、該スピンナテーブルの回転速度が所定速度以下の時には、該永久磁石の磁力が該振り子体の遠心力に打ち勝って該錘固定部が該錘部を固定することにより該爪部が該解放位置に位置付けられ、該スピンナテーブルの回転速度が該所定速度より速い時には、該振り子体の遠心力が該錘固定部の磁力に打ち勝って該錘部が該錘固定部から外れて該爪部が該押さえ位置に位置付けられるように該永久磁石の磁力、該強磁性体の種類及び該振り子体の質量が設定され、該環状フレーム洗浄手段で該環状フレームが洗浄されるときの該スピンナテーブルの回転速度は該所定速度以下に設定されることを特徴とする保護膜塗布装置。

IPC (6件)：

B05C 11/08 , H01L 21/301 , B05C 13/02 , B05C 11/10 , H01L 21/683 , B05C 9/12

FI (6件)：

B05C11/08 , H01L21/78 M , B05C13/02 , B05C11/10 , H01L21/68 N , B05C9/12

Fターム (21件)：

4F042AA02 , 4F042AA07 , 4F042AB00 , 4F042BA05 , 4F042BA08 , 4F042CC04 , 4F042CC07 , 4F042DF09 , 4F042DF11 , 4F042DF32 , 4F042DF36 , 4F042EB08 , 4F042EB09 , 5F031CA02 , 5F031DA13 , 5F031HA24 , 5F031HA50 , 5F031HA59 , 5F031HA78 , 5F031MA23 , 5F031MA26

引用特許：

審査官引用 (4件)

水溶性樹脂被覆方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-257683 出願人：株式会社ディスコ
処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-170868 出願人：東京エレクトロン株式会社
遠心スイッチ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-253376 出願人：三菱重工業株式会社

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