光学式変位測定装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山口邦夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-105047
公開番号（公開出願番号）：特開2009-257841
出願日： 2008年04月14日
公開日（公表日）： 2009年11月05日
要約：

【課題】回折格子の姿勢変化の影響を受けずに、高い分解能で位置検出が可能な光学式変位測定装置を提供する。【解決手段】光学式変位測定装置10Aは、回折格子11Tで回折された2つの1回回折光Lb1,Lb2を再度回折格子11Tに照射する反射光学系16,17で、第3の結像素子27の焦点距離と第4の結像素子30の焦点距離が等しく、第3の結像素子27の焦点位置付近に回折格子11Tと反射器26を配置すると共に、第4の結像素子30の焦点位置付近に回折格子11Tと反射器29を配置することで、移動位置検出方向以外への回折格子の変位の影響を抑える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

可干渉光が照射され、この可干渉光に対して格子ベクトルに平行な方向に相対移動し、この可干渉光を回折する回折格子と、可干渉光を発光する発光部と、前記発光部により発光された可干渉光を2つの可干渉光に分割して、前記回折格子に各可干渉光を照射し、2つの1回回折光を生じさせると共に、2つの1回回折光を前記回折格子により回折させて生じさせた2つの2回回折光を干渉させる照射受光光学系と、 2つの可干渉光を前記回折格子により回折させて生じさせた2つの1回回折光をそれぞれ反射して、前記回折格子に2つの1回回折光を照射する反射光学系と、前記照射受光光学系により2つの2回回折光を干渉させた干渉光を受光して干渉信号を検出する受光部とを備え、前記照射受光光学系は、前記発光部により発光された可干渉光を集光する第1の結像素子を備えると共に、前記回折格子で回折された2回回折光を前記受光部に結像する第2の結像素子を備え、前記反射光学系は、前記回折格子により回折させて生じさせた2つの1回回折光の一方を反射して、前記回折格子に照射する一方の反射器と前記回折格子の間に第3の結像素子を備えると共に、2つの1回回折光の他方を反射して、前記回折格子に照射する他方の反射器と前記回折格子の間に第4の結像素子を備え、前記第3の結像素子と前記第4の結像素子の焦点距離が等しく、かつ、前記回折格子を前記第3の結像素子及び前記第4の結像素子の一方の焦点位置に配置し、一方の前記反射器を前記第3の結像素子の他方の焦点位置に配置し、他方の前記反射器を前記第4の結像素子の他方の焦点位置に配置した光学式変位測定装置。

IPC (1件)：

G01D 5/38

FI (1件)：

G01D5/38 A

Fターム (9件)：

2F103BA17 , 2F103CA04 , 2F103EB16 , 2F103EB32 , 2F103EC01 , 2F103EC03 , 2F103EC13 , 2F103EC14 , 2F103EC15

引用特許：

出願人引用 (6件)

光学式変位測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-234547 出願人：ソニー・プレシジョン・テクノロジー株式会社
特公昭63-311121号公報
特開昭63-311121

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