変位検出装置、偏光ビームスプリッタ及び回折格子

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大森純一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-042190
公開番号（公開出願番号）：特開2007-218833
出願日： 2006年02月20日
公開日（公表日）： 2007年08月30日
要約：

【課題】小型化を実現することができ、かつ、変位検出装置の継続的な使用によっても信頼性の高い変位検出装置、これに搭載される偏光ビームスプリッタ及び回折格子を提供すること。【解決手段】回折格子12として反射型の回折格子が用いられているので、回折格子12で生成される各回折光を折り返らせることができ、変位検出装置1の小型化が実現される。しかも、各1/4波長板23、43、123及び143、ミラー24、44、124及び144等がメインPBS22に一体的に設けられる構成とすることで、組み立て精度を高く維持することができ、変位検出装置1の信頼性を確保することができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

レーザビームを出射する光源を備え、前記光源から出射されたレーザビームを分割して得られる2つの偏光ビームの干渉光の受光量に基づいて、変位を検出する変位検出装置であって、前記2つの偏光ビームが入射される反射型の回折格子と、前記回折格子から得られる前記2つの偏光ビームによる2つの回折光の各偏波をそれぞれ変換する2つの偏波変換素子と、前記偏波変換素子ごとに対応して設けられ、前記2つの偏波変換素子で偏波が変換された各ビームを反射させ、前記2つの偏波変換素子にそれぞれ導く2つのミラーと、前記レーザビームを分割して前記2つの偏光ビームを生成する偏光分割面と、前記偏光分割面により生成された前記2つの偏光ビームを前記回折格子に導き、かつ、前記干渉光を得るために前記2つの偏波変換素子からの2つの戻りビームを前記回折格子を介して前記偏光分割面に再び導く透過領域とを有し、少なくとも前記2つの偏波変換素子と一体的に設けられた偏光ビームスプリッタとを具備することを特徴とする変位検出装置。

IPC (3件)：

G01D 5/30 , G01D 5/38 , G01B 11/00

FI (3件)：

G01D5/30 F , G01D5/38 A , G01B11/00 G

Fターム (53件)：

2F065AA02 , 2F065AA07 , 2F065AA09 , 2F065AA14 , 2F065AA20 , 2F065BB02 , 2F065BB18 , 2F065BB27 , 2F065DD02 , 2F065FF16 , 2F065FF18 , 2F065FF48 , 2F065FF51 , 2F065FF54 , 2F065GG04 , 2F065GG06 , 2F065HH08 , 2F065HH12 , 2F065HH14 , 2F065JJ01 , 2F065JJ05 , 2F065LL02 , 2F065LL04 , 2F065LL12 , 2F065LL33 , 2F065LL34 , 2F065LL36 , 2F065LL37 , 2F065LL42 , 2F065LL46 , 2F065QQ25 , 2F065QQ28 , 2F065UU07 , 2F103CA03 , 2F103CA04 , 2F103CA08 , 2F103DA01 , 2F103DA12 , 2F103EA02 , 2F103EA19 , 2F103EB02 , 2F103EB08 , 2F103EB16 , 2F103EC04 , 2F103EC08 , 2F103EC11 , 2F103EC13 , 2F103EC14 , 2F103EC15 , 2F103ED02 , 2F103ED06 , 2F103FA01 , 2F103FA15

引用特許：

出願人引用 (1件)

変位検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-308931 出願人：ソニー・プレシジョン・テクノロジー株式会社

審査官引用 (5件)

変位検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-021142 出願人：ソニー・プレシジョン・テクノロジー株式会社
変位検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-358206 出願人：ソニーマニュファクチュアリングシステムズ株式会社
光学式変位検出装置および方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-074562 出願人：株式会社ミツトヨ

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