超純水製造装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：重野剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-117142
公開番号（公開出願番号）：特開2012-245439
出願日： 2011年05月25日
公開日（公表日）： 2012年12月13日
要約：

【課題】逆浸透膜分離装置の設置数が少ない超純水製造装置を提供する。【解決手段】一次純水システム2と、該一次純水システム2の処理水を処理するサブシステム3とを備え、少なくとも該一次純水システム2に逆浸透膜分離装置が設けられている超純水製造装置において、該一次純水システム2に設置された逆浸透膜分離装置が高圧型逆浸透膜分離装置であり、且つ単段にて設置されていることを特徴とする超純水製造装置。高圧型逆浸透膜分離装置は、標準運転圧力5.52MPa、純水フラックス0.5m3/m2・D以上、NaCl除去率99.5%(NaCl32000mg/L)以上の特性を有する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

一次純水システムと、該一次純水システムの処理水を処理するサブシステムとを備え、少なくとも該一次純水システムに逆浸透膜分離装置が設けられている超純水製造装置において、該一次純水システムに設置された逆浸透膜分離装置が高圧型逆浸透膜分離装置であり、且つ単段にて設置されていることを特徴とする超純水製造装置。

IPC (2件)：

C02F 1/44 , B01D 61/02

FI (2件)：

C02F1/44 J , B01D61/02

Fターム (25件)：

4D006GA03 , 4D006HA01 , 4D006HA61 , 4D006KA01 , 4D006KA52 , 4D006KA55 , 4D006KA57 , 4D006KA72 , 4D006KB04 , 4D006KB11 , 4D006KB13 , 4D006KB14 , 4D006KB17 , 4D006KE02R , 4D006KE07R , 4D006KE12R , 4D006KE13R , 4D006MA01 , 4D006MA03 , 4D006PA01 , 4D006PB04 , 4D006PB05 , 4D006PB08 , 4D006PC02 , 4D006PC03

引用特許：

審査官引用 (4件)

超純水の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-349944 出願人：日東電工株式会社
逆浸透膜分離装置の処理法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-128868 出願人：東レ株式会社
特開平3-000120

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