特許
J-GLOBAL ID：201203092895597077
エッチング液濃度管理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大坪 隆司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-040058
公開番号（公開出願番号）：特開2012-178424
出願日： 2011年02月25日
公開日（公表日）： 2012年09月13日
要約：
【課題】太陽電池パネルの製造プロセスにおいて、エッチング液を循環させつつ基板に供給してエッチング処理をする場合に、エッチング液の特定成分の濃度を測定して正確な測定値に補正し、この補正測定値に基づいて適正量の特定成分の補充を行ってエッチング液の濃度管理を行うエッチング液濃度管理装置を提供する。【解決手段】エッチング液34の循環経路の途中でその一部をサンプリング液として取り出して導電率計58とpH計60へ導入し、導電率計58によってサンプリング液中の塩酸の濃度を常時測定して塩酸の濃度を求める一方、エッチング処理が所定時間経過する毎にまたは所定枚数の基板Wのエッチング処理が終了する毎に、pH計60によってサンプリング液中の塩酸の正確な濃度を測定して塩酸の濃度を求め、pH計60よる測定値によって導電率計58による測定値を補正し、この補正値に対応した適切な補充量の塩酸をエッチング液34に補充する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
太陽電池パネルの製造プロセスにおいて、基板を1枚ずつ順次搬送しながら各基板に対しエッチング液を循環させつつ供給して基板をエッチング処理するに際し、エッチング液の特定成分の濃度を測定しながら濃度管理を行うエッチング液濃度管理装置において、
エッチング液の循環経路を備え当該循環経路を通して前記基板に前記エッチング液を供給するエッチング液供給手段と、
前記エッチング液の循環経路の途中で前記エッチング液の一部をサンプリング液として取り出す抽出手段と、
前記抽出手段により取り出された前記サンプリング液の前記特定成分の濃度を常時測定して前記特定成分の第1濃度を求める第1測定手段と、
前記抽出手段により取り出された前記サンプリング液の前記特性成分の濃度を測定して前記特定成分の第2濃度を求め、測定後のサンプリング液をドレインする第2測定手段と、
前記特定成分を前記エッチング液供給手段に補充する特定成分補充手段と、
前記第2測定手段による前記サンプリング液の測定を予め定めた頻度で間欠的に実行するように前記抽出手段を制御し、前記第1濃度を前記第2濃度によって補正して前記特定成分の濃度の補正値を求め、当該補正値に対応して予め定められた補充量の前記特定成分を前記エッチング液供給手段に補充するように前記特定成分補充手段を制御する制御手段と、
を備えたことを特徴とするエッチング液濃度管理装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/306 F
, H01L31/04 Z
5F043AA21
, 5F043BB14
, 5F043DD27
, 5F043EE21
, 5F043EE23
, 5F043EE29
, 5F043GG02
, 5F151CB21
