特許
J-GLOBAL ID：201203093892976545
リソグラフィ装置の一部を熱調節する熱調節システム及び熱調節方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
稲葉 良幸
, 大貫 敏史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-092233
公開番号（公開出願番号）：特開2012-227528
出願日： 2012年04月13日
公開日（公表日）： 2012年11月15日
要約：
【課題】改良された冷却効率を有しながら、小さい冷却流路を使用することができる熱調節システムを提供する。【解決手段】2相熱調節システムは、リソグラフィ装置の一部1と熱接触し、自身の内側の流体を蒸発させることによって一部から熱を抽出する蒸発器3と、自身の内側の流体を凝縮することによって熱を除去する凝縮器5と、蒸発器3と凝縮器5の間に配置される流体ライン7、8と、回路内で流体を循環させるポンプ14と、流体を保持するように構成され、回路と流体連通して自身の内側の流体との間で熱を伝達する熱交換器18を備えるアキュムレータ16と、流体の温度を表す測定信号を提供するように構成された温度センサ23と、測定信号に基づいてアキュムレータの内側の流体との間で熱交換器18によって伝達される熱の量を調整することにより、回路の内側の流体の実質的に一定の温度を維持するように構成された制御装置27とを含む。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
リソグラフィ装置の一部を熱調節する2相熱調節システムであって、
前記リソグラフィ装置の前記一部と熱接触した状態で位置決めされ、自身の内側の流体を蒸発させることによって前記一部から熱を抽出する蒸発器と、
前記リソグラフィ装置の前記一部からある距離に位置決めされ、自身の内側の流体を凝縮することによって自身の内側の流体から熱を除去する凝縮器と、
流体が流れることができる回路を形成するために前記蒸発器と前記凝縮器の間に配置される流体ラインと、
前記回路内で前記流体を循環させるために前記回路内に配置されたポンプと、
流体を保持するように構成され、前記回路と流体連通して自身の内側の流体との間で熱を伝達する熱交換器を備えるアキュムレータと、
前記流体の温度を表す測定信号を提供するように構成された温度センサと、
前記測定信号に基づいて前記アキュムレータの内側の流体との間で前記熱交換器によって伝達される熱の量を調整することにより前記回路の内側の流体の実質的に一定の温度を維持するように構成された制御装置とを備える、システム。
IPC (1件)：
FI (4件)：
H01L21/30 516E
, H01L21/30 515F
, H01L21/30 515G
, H01L21/30 531A
5F146BA04
, 5F146BA05
, 5F146CC01
, 5F146CC02
, 5F146CC03
, 5F146CC18
, 5F146DA26
, 5F146DB02
, 5F146GA03
, 5F146GA09
, 5F146GA21
, 5F146GA25
, 5F146GA27
, 5F146GB07
, 5F146GB09
, 5F146GB11
