特許
J-GLOBAL ID：200903037502947580

ポジ型感光性組成物及びパターン形成方法

発明者：
高島 正伸

高島 正伸 について


出願人/特許権者：
富士フイルム株式会社

富士フイルム株式会社 について


代理人 (3件)： 廣田 浩一 ,  流 良広 ,  松田 奈緒子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-158410
公開番号（公開出願番号）：特開2007-328093
出願日： 2006年06月07日
公開日（公表日）： 2007年12月20日
要約：
【課題】大画面用の液晶ディスプレイ(LCD)に好適なポジ型感光性組成物及びパターン形成方法の提供。【解決手段】365nm及び405nmの少なくともいずれかの波長に感度を有し、アルカリ難溶性樹脂、含窒素塩基性化合物、光酸発生剤、及び界面活性剤を含み、前記界面活性剤がフッ素原子及び珪素原子の少なくともいずれかを有する化合物を含むポジ型感光性組成物、及び、前記ポジ型感光性組成物を用いて基材の表面にポジ型感光層を形成するポジ型感光層形成工程と、フォトマスクを用いずに前記ポジ型感光層を露光する露光工程と、該露光工程により露光された前記ポジレジスト層を現像する現像工程とを含むパターン形成方法である。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
365nm及び405nmの少なくともいずれかの波長に感度を有し、アルカリ難溶性樹脂、含窒素塩基性化合物、光酸発生剤、及び界面活性剤を含み、前記界面活性剤がフッ素原子及び珪素原子の少なくともいずれかを有する化合物を含むことを特徴とするポジ型感光性組成物。
IPC (3件)：
G03F 7/039 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/20
FI (4件)：
G03F7/039 601 ,  G03F7/004 504 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/20 501
Fターム (14件)：
2H025AA01 ,  2H025AB17 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BG00 ,  2H025CC04 ,  2H025CC20 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17 ,  2H097AA03 ,  2H097AB05 ,  2H097FA03 ,  2H097LA12
引用特許：
出願人引用 (5件)
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