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J-GLOBAL ID：201302200816188982   整理番号：13A1095617

ハードウエア記述言語の回路シミュレーションに基づくCMOS-MEMSのための単一プラットフォームシミュレーションと設計技術

A Single-Platform Simulation and Design Technique for CMOS-MEMS Based on a Circuit Simulator With Hardware Description Language

著者 (6件)： KONISHI Toshifumi (NTT Advanced Technol. Corp., Atsugi, JPN) ,  MACHIDA Katsuyuki (NTT Advanced Technol. Corp., Atsugi, JPN) ,  MARUYAMA Satoshi (Univ. Tokyo, Meguro, JPN) ,  MITA Makoto (Japan Aerospace Exploration Agency, Sagamihara, JPN) ,  MASU Kazuya (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN) ,  TOSHIYOSHI Hiroshi (Univ. Tokyo, Meguro, JPN)
資料名： Journal of Microelectromechanical Systems  (Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 22  号： 3  ページ： 755-767  発行年： 2013年06月 
JST資料番号： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Verilog Aハードウエア記述言語(HDL)の電気回路シミュレーションに基づくCMOS-MEMSのための新しいマルチフィジックスシミュレーションと設計技術を開発した。運動方程式(EOM)の等価回路モデルはVerilog AのHDLに変換され,MEMS構造のための自動マスクレイアウト合成や設計ルールチェックなどの設計能力を可能とする。平行板アクチュエータや曲がりサスペンションのようなMEMS部品もHDLコード等価回路に変換される。静電変位ヒステリシスや負性バネ定数効果を含むMEMSデバイスの挙動は集中質量ばねシステムで数値的にシミュレートされる。静電MEMS共振器を開発したシミュレーションプラットフォームでモデル化し,マイクロメカニカル挙動と電気のトランジスタ回路を扱うマルチフィジックスの能力を示した。

シソーラス用語： 半導体 ,  *MEMS ,  等価回路 ,  *ハードウェア記述言語 ,  計算機シミュレーション ,  *回路シミュレーション ,  運動方程式 ,  モデル ,  高速Fourier変換 ,  スペクトル ,  有限要素法 ,  *CMOS
準シソーラス用語： FEM【有限要素法】 ,  Verilog-A ,  マルチフィジックスシミュレーション ,  周波数スペクトル ,  等価回路モデル

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  集積回路一般  (NC03161C)

タイトルに関連する用語 (5件)： ハードウエア記述言語 ,  回路シミュレーション ,  プラットフォーム ,  シミュレーション ,  設計