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J-GLOBAL ID：201302213610338516   整理番号：13A1590664

高速ナノプロファイラーを用いた凹面鏡および平面鏡の輪郭測定

Profile measurement of concave spherical mirror and a flat mirror using a high-speed nanoprofiler

著者 (7件)： USUKI Koji (Graduate School of Engineering, Osaka Univ., Dep. of Precision Sci. and Technol., 2-1 Yamadaoka, 565-0871, Suita ...) ,  KITAYAMA Takao (Graduate School of Engineering, Osaka Univ., Dep. of Precision Sci. and Technol., 2-1 Yamadaoka, 565-0871, Suita ...) ,  MATSUMURA Hiroki (Graduate School of Engineering, Osaka Univ., Dep. of Precision Sci. and Technol., 2-1 Yamadaoka, 565-0871, Suita ...) ,  KOJIMA Takuya (Graduate School of Engineering, Osaka Univ., Dep. of Precision Sci. and Technol., 2-1 Yamadaoka, 565-0871, Suita ...) ,  UCHIKOSHI Junichi (Graduate School of Engineering, Osaka Univ., Dep. of Precision Sci. and Technol., 2-1 Yamadaoka, 565-0871, Suita ...) ,  HIGASHI Yasuo (High Energy Accelerator Res. Organization, Applied Res. Lab., Oho 1-1, 305-0801, Tsukuba, Ibaraki, JPN) ,  ENDO Katsuyoshi (Osaka Univ., Res. Center for Ultra-Precision Sci. and Technol., 2-1 Yamadaoka, 565-0871, Suita, Osaka, JPN)
資料名： Nanoscale Research Letters (Web)  (Nanoscale Research Letters (Web))
巻： 8  号： 1  ページ： 1-10  発行年： 2013年12月 
JST資料番号： U7001A  ISSN： 1931-7573  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ナノ集束と高コヒーレンスを提供する超精密な非球面鏡は,第三世代シンクロトロン放射およびX線自由電子レーザ源の開発に不可欠である。産業において,高精度非球面鏡に用いられる極紫外(波長:13.5nm)リソグラフィーは,半導体デバイス作製の有望な技術である。さらに,10mm以下の曲率半径の超精密鏡は,多くのディジタルビデオ機器に必要とされる。筆者らはミラー表面の法線ベクトルをトレースする,新型ナノプロファイラーを開発した。筆者らの測定法の原理は,2対のゴニオメータと1つの並進台で構成する2セットの光学系を用意して,鏡面の入射光ビームと反射ビームとをコインシデンスさせる位置決めをすることにより,表面の各ポイントごとに法線ベクトルを決定する。得られた法線ベクトルとそれらの座標から,三次元形状が復元アルゴリズムにより計算される。測定法の特性は下記の通りである:このプロファイラーは,基準面を用いることなく,レーザ光の真直度を用いる。いかなる形状の表面も測定でき,開口サイズに制限が無い。筆者らは,アセンブリーエラーおよびエンコーダースケールエラーに由来するシステムエラーを考慮することにより,このナノプロファイラーを校正し,ナノメータスケールで性能を評価した。筆者らは,±0.01°C以内の一定温度の室内に温度を維持することにより,ランダムエラーの影響を抑えた。筆者らは,400mmの曲率半径の凹型球面鏡と平面鏡を測定し,その結果をFizeau干渉計を用いて得られた結果と比較した。鏡面プロファイルは,システムエラー範囲内で一致した。Copyright 2013 Usuki et al.; licensee Springer. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： シンクロトロン放射 ,  自由電子レーザ ,  *ビーム集束 ,  反射鏡 ,  凹面鏡 ,  平面 ,  *光線追跡 ,  計測 ,  *計測システム ,  超精密加工 ,  精密測定 ,  光学系 ,  画像分析 ,  特徴抽出 ,  *レーザビーム ,  誤差解析 ,  キャリブレーション
準シソーラス用語： シンクロトロン放射光 ,  プロファイラ ,  レーザ反射鏡 ,  直接測定 ,  平面鏡 ,  輪郭抽出

分類 (1件)： レーザ一般  (BD04030T)

タイトルに関連する用語 (4件)： プロファイラー ,  凹面鏡 ,  平面鏡 ,  輪郭